සිලේන් (SiH4)

තාක්ෂණික පරාමිතීන්

සිලේන් යනු සිලිකන් සහ හයිඩ්‍රජන් සංයෝගයකි. එය මොනොසිලේන් (SiH4), ඩිසිලේන් (Si2H6) සහ සමහර ඉහළ මට්ටමේ සිලිකන්-හයිඩ්‍රජන් සංයෝග ඇතුළු සංයෝග මාලාවක් සඳහා වන සාමාන්‍ය යෙදුමකි. ඒවා අතර, මොනොසිලේන් වඩාත් සුලභ වේ, සමහර විට කෙටියෙන් සිලේන් ලෙස හැඳින්වේ. සිලේන් යනු සුදුළූණු වල පිළිකුල් සහගත සුවඳක් සහිත අවර්ණ වායුවකි. ජලයේ ද්‍රාව්‍ය, එතනෝල්, ඊතර්, බෙන්සීන්, ක්ලෝරෝෆෝම්, සිලිකන් ක්ලෝරෝෆෝම් සහ සිලිකන් ටෙට්‍රාක්ලෝරයිඩ් වල පාහේ දිය නොවේ. සිලේන් වල රසායනික ගුණ ඇල්කේන වලට වඩා බෙහෙවින් ක්‍රියාකාරී වන අතර පහසුවෙන් ඔක්සිකරණය වේ. වාතය සමඟ ස්පර්ශ වන විට ස්වයංසිද්ධ දහනය සිදුවිය හැක. එය 25 ° C ට අඩු නයිට්‍රජන් සමඟ ප්‍රතික්‍රියා නොකරන අතර කාමර උෂ්ණත්වයේ දී හයිඩ්‍රොකාබන් සංයෝග සමඟ ප්‍රතික්‍රියා නොකරයි. සිලේන් ගින්න සහ පිපිරීම ඔක්සිජන් සමඟ ප්රතික්රියාවේ ප්රතිඵලයකි. සිලේන් ඔක්සිජන් හා වාතයට අතිශයින් සංවේදී වේ. නිශ්චිත සාන්ද්‍රණයක් සහිත සිලේන් -180 ° C උෂ්ණත්වයකදී ඔක්සිජන් සමඟ පුපුරන සුලු ලෙස ප්‍රතික්‍රියා කරයි. සිලේන් අර්ධ සන්නායක ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා වන වැදගත්ම විශේෂ වායුව බවට පත් වී ඇති අතර, තනි ස්ඵටික පටල, ක්ෂුද්‍ර ස්ඵටික, බහු ස්ඵටික, සිලිකන් ඔක්සයිඩ්, සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් සහ ලෝහ සිලිසයිඩ් ඇතුළු විවිධ ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික පටල සැකසීමේදී භාවිතා වේ. සිලේන් හි ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික යෙදුම් තවමත් ගැඹුරින් වර්ධනය වෙමින් පවතී: අඩු-උෂ්ණත්ව එපිටැක්සි, වරණීය එපිටැක්සි සහ විෂම පිටක එපිටැක්සි. සිලිකන් උපාංග සහ සිලිකන් සංයුක්ත පරිපථ සඳහා පමණක් නොව, සංයුක්ත අර්ධ සන්නායක උපාංග සඳහාද (ගැලියම් ආසනයිඩ්, සිලිකන් කාබයිඩ්, ආදිය). සුපිරි දැලිස් ක්වොන්ටම් ළිං ද්‍රව්‍ය සැකසීමේදී ද එහි යෙදීම් ඇත. නූතනයේ සෑම දියුණු ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන රේඛාවලම පාහේ සිලේන් භාවිතා වන බව පැවසිය හැකිය. සිලිකන් අඩංගු පටලයක් සහ ආලේපනයක් ලෙස සිලේන් යෙදීම සාම්ප්‍රදායික ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ සිට වානේ, යන්ත්‍රෝපකරණ, රසායනික ද්‍රව්‍ය සහ දෘෂ්ටි විද්‍යාව වැනි විවිධ ක්ෂේත්‍ර දක්වා ව්‍යාප්ත වී ඇත. සිලේන් හි තවත් විභව යෙදුමක් වන්නේ ඉහළ ක්‍රියාකාරී සෙරමික් එන්ජින් කොටස් නිෂ්පාදනය කිරීම, විශේෂයෙන් සිලිසයිඩ් නිෂ්පාදනය සඳහා සිලේන් භාවිතා කිරීම (Si3N4, SiC, ආදිය) ක්ෂුද්‍ර කුඩු තාක්ෂණය වැඩි වැඩියෙන් අවධානයට ලක්ව ඇත.

යෙදුම:

① ඉලෙක්ට්රොනික:

අර්ධ සන්නායක සහ සීලන්ට් නිෂ්පාදනය කරන විට සිලිකන් වේෆර් මත බහු ස්ඵටික සිලිකන් ස්ථරවලට සිලේන් යොදනු ලැබේ.

②සූර්ය:

සූර්ය ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා මොඩියුල නිෂ්පාදනයේදී සිලේන් භාවිතා කරයි.

③කාර්මික:

එය බලශක්ති ඉතිරිකිරීමේ හරිත වීදුරු වල භාවිතා වන අතර වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ තුනී පටල ක්රියාවලිය සඳහා යොදනු ලැබේ.

සාමාන්ය පැකේජය:

වාසිය:

①වෙළඳපොලේ වසර දහයකට වැඩි කාලයක්;

②ISO සහතික නිෂ්පාදකයා;

③ වේගවත් බෙදා හැරීම;

④ස්ථායී අමුද්‍රව්‍ය ප්‍රභවය;

⑤සෑම පියවරකදීම තත්ත්ව පාලනය සඳහා මාර්ගගත විශ්ලේෂණ පද්ධතිය;

⑥ පිරවීමට පෙර සිලින්ඩරය හැසිරවීම සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතාවයක් සහ සූක්ෂම ක්‍රියාවලියක්;

⑦සංශුද්ධතාවය: ඉහළ සංශුද්ධතාවය ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණිය;

⑧භාවිතය: සූර්ය කෝෂ ද්රව්ය; ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් පොලිසිලිකන්, සිලිකන් ඔක්සයිඩ් සහ ඔප්ටිකල් තන්තු සෑදීම; වර්ණ වීදුරු නිෂ්පාදනය.