සංරචකය | 99.9999% | ඒකකය |
ඔක්සිජන් (Ar) | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
නයිට්රජන් | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
හයිඩ්රජන් | ≤20 | පීපීඑම්වී |
හීලියම් | ≤10 | පීපීඑම්වී |
CO+CO2 | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
THC සඳහා | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
ක්ලෝරෝසිලේන් | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
ඩිසිලොක්සේන් | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
ඩිසිලේන් | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
තෙතමනය (H2O) | ≤0.1 | පීපීඑම්වී |
සිලේන් යනු සිලිකන් සහ හයිඩ්රජන් සංයෝගයකි. එය මොනොසිලේන් (SiH4), ඩයිසිලේන් (Si2H6) සහ සමහර ඉහළ මට්ටමේ සිලිකන්-හයිඩ්රජන් සංයෝග ඇතුළු සංයෝග මාලාවක් සඳහා සාමාන්ය යෙදුමකි. ඒවා අතර, මොනොසිලේන් වඩාත් සුලභ වන අතර සමහර විට කෙටියෙන් සිලේන් ලෙස හැඳින්වේ. සිලේන් යනු සුදුළූණු වල පිළිකුල් සහගත සුවඳක් සහිත වර්ණ රහිත වායුවකි. ජලයේ ද්රාව්ය වන අතර එතනෝල්, ඊතර්, බෙන්සීන්, ක්ලෝරෝෆෝම්, සිලිකන් ක්ලෝරෝෆෝම් සහ සිලිකන් ටෙට්රාක්ලෝරයිඩ් වල පාහේ දිය නොවේ. සිලේන් වල රසායනික ගුණාංග ඇල්කේන වලට වඩා බොහෝ ක්රියාකාරී වන අතර පහසුවෙන් ඔක්සිකරණය වේ. වාතය සමඟ ස්පර්ශ වන විට ස්වයංසිද්ධ දහනය සිදුවිය හැකිය. එය 25°C ට අඩු නයිට්රජන් සමඟ ප්රතික්රියා නොකරන අතර කාමර උෂ්ණත්වයේ දී හයිඩ්රොකාබන් සංයෝග සමඟ ප්රතික්රියා නොකරයි. සිලේන් ගින්න සහ පිපිරීම ඔක්සිජන් සමඟ ප්රතික්රියාවේ ප්රතිඵලයකි. සිලේන් ඔක්සිජන් සහ වාතයට අතිශයින් සංවේදී වේ. යම් සාන්ද්රණයක් සහිත සිලේන් -180°C උෂ්ණත්වයේදී ඔක්සිජන් සමඟ පුපුරන සුලු ලෙස ප්රතික්රියා කරයි. අර්ධ සන්නායක ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික ක්රියාවලීන්හි භාවිතා වන වැදගත්ම විශේෂ වායුව බවට සිලේන් පත්ව ඇති අතර, තනි ස්ඵටික පටල, ක්ෂුද්ර ස්ඵටික, බහු ස්ඵටික, සිලිකන් ඔක්සයිඩ්, සිලිකන් නයිට්රයිඩ් සහ ලෝහ සිලිසයිඩ් ඇතුළු විවිධ ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික පටල සකස් කිරීමේදී භාවිතා වේ. සිලේන්හි ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික යෙදුම් තවමත් ගැඹුරින් වර්ධනය වෙමින් පවතී: අඩු උෂ්ණත්ව එපිටැක්සි, තෝරාගත් එපිටැක්සි සහ විෂම පිටැක්සි. සිලිකන් උපාංග සහ සිලිකන් ඒකාබද්ධ පරිපථ සඳහා පමණක් නොව, සංයෝග අර්ධ සන්නායක උපාංග (ගැලියම් ආසනයිඩ්, සිලිකන් කාබයිඩ්, ආදිය) සඳහා ද එය සුපිරි දැලිස් ක්වොන්ටම් ළිං ද්රව්ය සකස් කිරීමේදී ද යෙදුම් ඇත. නූතන කාලයේ සියලුම දියුණු ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන රේඛා වල සිලේන් භාවිතා වන බව පැවසිය හැකිය. සිලිකන් අඩංගු පටලයක් සහ ආලේපනයක් ලෙස සිලේන් යෙදීම සාම්ප්රදායික ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ සිට වානේ, යන්ත්රෝපකරණ, රසායනික ද්රව්ය සහ දෘෂ්ටි විද්යාව වැනි විවිධ ක්ෂේත්ර දක්වා ව්යාප්ත වී ඇත. සිලේන් වල තවත් විභව යෙදුමක් වන්නේ ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත සෙරමික් එන්ජින් කොටස් නිෂ්පාදනය කිරීමයි, විශේෂයෙන් සිලිසයිඩ් (Si3N4, SiC, ආදිය) නිෂ්පාදනය සඳහා සිලේන් භාවිතය ක්ෂුද්ර කුඩු තාක්ෂණය වැඩි වැඩියෙන් අවධානයට ලක්ව ඇත.
① ඉලෙක්ට්රොනික:
අර්ධ සන්නායක සහ සීලන්ට් නිෂ්පාදනය කිරීමේදී සිලිකන් වේෆර් මත ඇති බහු ස්ඵටික සිලිකන් ස්ථරවලට සිලේන් යොදනු ලැබේ.
② සූර්ය:
සූර්ය ප්රකාශ වෝල්ටීයතා මොඩියුල නිෂ්පාදනයේදී සිලේන් භාවිතා වේ.
③ කාර්මික:
එය බලශක්ති ඉතිරිකිරීමේ හරිත වීදුරු වල භාවිතා වන අතර වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ තුනී පටල ක්රියාවලියට යොදනු ලැබේ.
නිෂ්පාදන | සිලේන් SiH4 දියර | |
පැකේජ ප්රමාණය | ලීටර් 47 සිලින්ඩරය | Y-440L හඳුන්වා දීම |
ශුද්ධ බර/සිලින්ඩරය පිරවීම | කිලෝග්රෑම් 10 | කිලෝග්රෑම් 125 |
20' බහාලුම්වල පටවන ලද QTY | සිලින්ඩර 250ක් | 8cyls (සයිල්) |
මුළු ශුද්ධ බර | ටොන් 2.5 යි | ටොන් 1 යි |
සිලින්ඩර තාර බර | කිලෝග්රෑම් 52 | කිලෝග්රෑම් 680 |
කපාටය | සීජීඒ632/ඩීඅයිඑස්එස්632 |
① වෙළඳපොලේ වසර දහයකට වැඩි කාලයක්;
②ISO සහතික නිෂ්පාදකයා;
③ වේගවත් බෙදාහැරීම;
④ ස්ථාවර අමුද්රව්ය ප්රභවය;
⑤සෑම පියවරකදීම තත්ත්ව පාලනය සඳහා මාර්ගගත විශ්ලේෂණ පද්ධතිය;
⑥පිරවීමට පෙර සිලින්ඩරය හැසිරවීම සඳහා ඉහළ අවශ්යතාවයක් සහ සූක්ෂම ක්රියාවලියක්;
⑦ සංශුද්ධතාවය: ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඉලෙක්ට්රොනික ශ්රේණිය;
⑧ භාවිතය: සූර්ය කෝෂ ද්රව්ය; ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් පොලිසිලිකන්, සිලිකන් ඔක්සයිඩ් සහ දෘශ්ය තන්තු සෑදීම; වර්ණවත් වීදුරු නිෂ්පාදනය.