පිරිවිතර | 99.999% |
ඔක්සිජන් + ආගන් | ≤1ppm |
නයිට්රජන් | ≤4 ppm |
තෙතමනය (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
හැලෝකාබයින් | ≤1 ppm |
සම්පූර්ණ අපිරිසිදුකම් | ≤10 ppm |
කාබන් ටෙට්රාෆ්ලෝරයිඩ් යනු CF4 රසායනික සූත්රය සහිත හැලජනීකරණය කරන ලද හයිඩ්රොකාබනයකි.එය halogenated hydrocarbon, halogenated methane, perfluorocarbon හෝ අකාබනික සංයෝගයක් ලෙස සැලකිය හැක.කාබන් ටෙට්රාෆ්ලෝරයිඩ් යනු අවර්ණ සහ ගන්ධ රහිත වායුවකි, ජලයේ දිය නොවන, බෙන්සීන් සහ ක්ලෝරෝෆෝම් වල ද්රාව්ය වේ.සාමාන්ය උෂ්ණත්වය සහ පීඩනය යටතේ ස්ථායී, ප්රබල ඔක්සිකාරක, දැවෙන හෝ දැවෙන ද්රව්ය වළක්වා ගන්න.දහනය කළ නොහැකි වායුව, අධික තාපයට නිරාවරණය වන විට කන්ටේනරයේ අභ්යන්තර පීඩනය වැඩි වන අතර, ඉරිතැලීම් හා පිපිරීමේ අවදානම පවතී.එය රසායනිකව ස්ථායී වන අතර ගිනි නොගනී.කාමර උෂ්ණත්වයේ දී ක්රියා කළ හැක්කේ දියර ඇමෝනියා-සෝඩියම් ලෝහ ප්රතික්රියාකාරකයක් පමණි.කාබන් ටෙට්රාෆ්ලෝරයිඩ් යනු හරිතාගාර ආචරණය ඇති කරන වායුවකි.එය ඉතා ස්ථායී වන අතර, දිගු කාලයක් වායුගෝලයේ රැඳී සිටිය හැකි අතර, ඉතා බලවත් හරිතාගාර වායුවකි.විවිධ සංයුක්ත පරිපථවල ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේ ක්රියාවලියේදී කාබන් ටෙට්රාෆ්ලෝරයිඩ් භාවිතා වේ.එය ලේසර් වායුවක් ලෙසද භාවිතා වන අතර, අඩු උෂ්ණත්ව ශීතකාරක, ද්රාවක, ලිහිසි තෙල්, පරිවාරක ද්රව්ය සහ අධෝරක්ත අනාවරක සඳහා සිසිලනකාරකවල භාවිතා වේ.එය ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික් කර්මාන්තයේ වැඩිපුරම භාවිතා වන ප්ලාස්මා කැටයම් වායුව වේ.එය tetrafluoromethane අධි සංශුද්ධතාවයේ වායුව සහ tetrafluoromethane අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායුව සහ අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඔක්සිජන් මිශ්රණයකි.එය සිලිකන්, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ්, සිලිකන් නයිට්රයිඩ් සහ ෆොස්ෆොසිලිකේට් වීදුරු වල බහුලව භාවිතා කළ හැක.ටංස්ටන් සහ ටංස්ටන් වැනි තුනී පටල ද්රව්ය කැටයම් කිරීම ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවල මතුපිට පිරිසිදු කිරීම, සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය, ලේසර් තාක්ෂණය, අඩු-උෂ්ණත්ව ශීතකරණය, කාන්දු පරීක්ෂාව සහ මුද්රිත පරිපථ නිෂ්පාදනයේ ඩිටර්ජන්ට් සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.සංයුක්ත පරිපථ සඳහා අඩු-උෂ්ණත්ව ශීතකාරක සහ ප්ලාස්මා වියළි කැටයම් තාක්ෂණය ලෙස භාවිතා කරයි.ගබඩා කිරීම සඳහා පූර්වාරක්ෂාව: සිසිල්, වාතාශ්රය සහිත දහනය කළ නොහැකි ගෑස් ගබඩාවක ගබඩා කරන්න.ගිනි හා තාප ප්රභවයන්ගෙන් ඈත්ව සිටින්න.ගබඩා උෂ්ණත්වය 30 ° C නොඉක්මවිය යුතුය.එය පහසුවෙන් (දහනය කළ හැකි) දහනය කළ හැකි ද්රව්ය සහ ඔක්සිකාරක වලින් වෙන වෙනම ගබඩා කළ යුතු අතර මිශ්ර ගබඩා කිරීමෙන් වළකින්න.ගබඩා ප්රදේශය කාන්දුවීම් හදිසි ප්රතිකාර උපකරණවලින් සමන්විත විය යුතුය.
① ශීතකාරක:
Tetrafluoromethane සමහර විට අඩු උෂ්ණත්ව ශීතකාරකයක් ලෙස භාවිතා කරයි.
② කැටයම් කිරීම:
එය ඉලෙක්ට්රොනික ක්ෂුද්ර රෙදි නිපදවීමේදී පමණක් හෝ ඔක්සිජන් සමඟ ඒකාබද්ධව සිලිකන්, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් සහ සිලිකන් නයිට්රයිඩ් සඳහා ප්ලාස්මා එචන්ට් ලෙස භාවිතා කරයි.
නිෂ්පාදන | කාබන් ටෙට්රාෆ්ලෝරයිඩ්CF4 | ||
පැකේජය තරම | 40Ltr සිලින්ඩරය | 50Ltr සිලින්ඩරය | |
ශුද්ධ බර / Cyl පිරවීම | 30Kgs | 38Kgs | |
QTY 20'කන්ටේනරයේ පටවා ඇත | සයිල 250 | සයිල 250 | |
මුළු ශුද්ධ බර | ටොන් 7.5 | ටොන් 9.5 | |
සිලින්ඩර් ටේරේ බර | 50Kgs | 55Kgs | |
කපාටය | CGA 580 |
①ඉහළ සංශුද්ධතාවය, නවතම පහසුකම;
②ISO සහතික නිෂ්පාදකයා;
③ වේගවත් බෙදා හැරීම;
④ සෑම පියවරකදීම තත්ත්ව පාලනය සඳහා මාර්ගගත විශ්ලේෂණ පද්ධතිය;
පිරවීමට පෙර සිලින්ඩරය හැසිරවීම සඳහා ඉහළ අවශ්යතාවයක් සහ සූක්ෂම ක්රියාවලියක්;