වියළි කැටයම් කිරීමේදී බහුලව භාවිතා වන කැටයම් වායු මොනවාද?

වියළි කැටයම් තාක්ෂණය ප්‍රධාන ක්‍රියාවලීන්ගෙන් එකකි. වියළි කැටයම් වායුව අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ප්‍රධාන ද්‍රව්‍යයක් වන අතර ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම සඳහා වැදගත් වායු ප්‍රභවයකි. එහි ක්‍රියාකාරිත්වය අවසාන නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය සහ ක්‍රියාකාරිත්වයට සෘජුවම බලපායි. වියළි කැටයම් ක්‍රියාවලියේදී බහුලව භාවිතා වන කැටයම් වායූන් මොනවාද යන්න මෙම ලිපියෙන් ප්‍රධාන වශයෙන් බෙදා ගනී.

ෆ්ලෝරීන් මත පදනම් වූ වායු: වැනිකාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් (CF4), හෙක්සාෆ්ලෝරෝඊතේන් (C2F6), ට්‍රයිෆ්ලෝරෝමීතේන් (CHF3) සහ පර්ෆ්ලෝරෝප්‍රොපේන් (C3F8). මෙම වායූන් සිලිකන් සහ සිලිකන් සංයෝග කැටයම් කිරීමේදී වාෂ්පශීලී ෆ්ලෝරයිඩ් ඵලදායී ලෙස ජනනය කළ හැකි අතර එමඟින් ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම සාක්ෂාත් කර ගනී.

ක්ලෝරීන් මත පදනම් වූ වායූන්: ක්ලෝරීන් (Cl2) වැනි,බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ් (BCl3)සහ සිලිකන් ටෙට්‍රාක්ලෝරයිඩ් (SiCl4). ක්ලෝරීන් මත පදනම් වූ වායූන් කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී ක්ලෝරයිඩ් අයන සැපයිය හැකි අතර, එය කැටයම් කිරීමේ වේගය සහ තේරීම වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ.

බ්‍රෝමීන් මත පදනම් වූ වායු: බ්‍රෝමීන් (Br2) සහ බ්‍රෝමීන් අයඩයිඩ් (IBr) වැනි. බ්‍රෝමීන් මත පදනම් වූ වායු, ඇතැම් කැටයම් ක්‍රියාවලීන්හිදී, විශේෂයෙන් සිලිකන් කාබයිඩ් වැනි දෘඩ ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමේදී වඩා හොඳ කැටයම් කාර්ය සාධනයක් ලබා දිය හැකිය.

නයිට්‍රජන් මත පදනම් වූ සහ ඔක්සිජන් මත පදනම් වූ වායූන්: නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3) සහ ඔක්සිජන් (O2) වැනි. මෙම වායූන් සාමාන්‍යයෙන් කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ ප්‍රතික්‍රියා තත්ත්වයන් සකස් කිරීම සඳහා කැටයම් කිරීමේ තේරීම සහ දිශානතිය වැඩි දියුණු කිරීමට භාවිතා කරයි.

මෙම වායූන් ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේදී භෞතික ඉසීම සහ රසායනික ප්‍රතික්‍රියා වල එකතුවක් හරහා ද්‍රව්‍ය මතුපිට නිරවද්‍ය කැටයම් ලබා ගනී. කැටයම් වායුව තෝරා ගැනීම කැටයම් කළ යුතු ද්‍රව්‍ය වර්ගය, කැටයම් කිරීමේ තේරීම් අවශ්‍යතා සහ අපේක්ෂිත කැටයම් අනුපාතය මත රඳා පවතී.