ඉලෙක්ට්‍රොනිකවිශේෂ වායුවිශේෂ වායු වල වැදගත් ශාඛාවකි. ඒවා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සෑම සබැඳියක්ම පාහේ විනිවිද යන අතර අතිශය විශාල පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ, පැතලි පැනල් සංදර්ශක උපාංග සහ සූර්ය කෝෂ වැනි ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්ත නිෂ්පාදනය සඳහා අත්‍යවශ්‍ය අමුද්‍රව්‍ය වේ.

අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණයේදී, ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් බහුලව භාවිතා වේ. වර්තමානයේ, ගෝලීය ඉලෙක්ට්‍රොනික ගෑස් වෙළඳපොලේ, ෆ්ලෝරීන් අඩංගු ඉලෙක්ට්‍රොනික වායු මුළු ප්‍රමාණයෙන් 30% ක් පමණ වේ. ෆ්ලෝරීන් අඩංගු ඉලෙක්ට්‍රොනික වායු ඉලෙක්ට්‍රොනික තොරතුරු ද්‍රව්‍ය ක්ෂේත්‍රයේ විශේෂ ඉලෙක්ට්‍රොනික වායූන්ගේ වැදගත් අංගයකි. ඒවා ප්‍රධාන වශයෙන් පිරිසිදු කිරීමේ කාරක සහ කැටයම් කාරක ලෙස භාවිතා කරන අතර, මාත්‍රක, පටල සාදන ද්‍රව්‍ය ආදිය ලෙසද භාවිතා කළ හැකිය. මෙම ලිපියෙන්, කතුවරයා ඔබව පොදු ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් තේරුම් ගැනීමට ගෙන යනු ඇත.

පහත දැක්වෙන්නේ බහුලව භාවිතා වන ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායු වේ.

නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3): තැන්පතු පිරිසිදු කිරීම සහ ඉවත් කිරීම සඳහා භාවිතා කරන වායුවකි, සාමාන්‍යයෙන් ප්‍රතික්‍රියා කුටි සහ උපකරණ මතුපිට පිරිසිදු කිරීම සඳහා භාවිතා කරයි.

සල්ෆර් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (SF6): ඔක්සයිඩ් තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන්හි දී සහ පරිවාරක මාධ්‍ය පිරවීම සඳහා පරිවාරක වායුවක් ලෙස භාවිතා කරන ෆ්ලෝරිනීකරණ කාරකයකි.

හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් (HF): සිලිකන් මතුපිටින් ඔක්සයිඩ ඉවත් කිරීමට සහ සිලිකන් සහ අනෙකුත් ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීම සඳහා එචන්ට් එකක් ලෙස භාවිතා කරයි.

නයිට්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් (NF): සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් (SiN) සහ ඇලුමිනියම් නයිට්‍රයිඩ් (AlN) වැනි ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමට භාවිතා කරයි.

ට්‍රයිෆ්ලෝරෝමීතේන් (CHF3) සහටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝමීතේන් (CF4): සිලිකන් ෆ්ලෝරයිඩ් සහ ඇලුමිනියම් ෆ්ලෝරයිඩ් වැනි ෆ්ලෝරයිඩ් ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමට භාවිතා කරයි.

කෙසේ වෙතත්, ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් විෂ වීම, විඛාදනයට ලක්වීමේ හැකියාව සහ ගිනිගැනීමේ හැකියාව ඇතුළු ඇතැම් අන්තරායන් දරයි.

විෂ වීම

සමහර ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් විෂ සහිත වේ, උදාහරණයක් ලෙස හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් (HF), එහි වාෂ්ප සමට සහ ශ්වසන මාර්ගයට බෙහෙවින් කෝපයක් ඇති කරන අතර මිනිස් සෞඛ්‍යයට හානිකර වේ.

විඛාදන හැකියාව

හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් සහ සමහර ෆ්ලෝරයිඩ් ඉතා විඛාදනයට ලක්වන අතර සම, ඇස් සහ ශ්වසන මාර්ගයට බරපතල හානි සිදු කළ හැකිය.

ගිනි අවුලුවන හැකියාව

සමහර ෆ්ලෝරයිඩ් දැවෙන සුළු වන අතර වාතයේ ඇති ඔක්සිජන් හෝ ජලය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර දැඩි තාපයක් සහ විෂ වායු නිකුත් කරයි, එමඟින් ගින්නක් හෝ පිපිරීමක් ඇති විය හැක.

අධි පීඩන අනතුර

සමහර ෆ්ලෝරිනීකෘත වායූන් අධි පීඩනය යටතේ පුපුරන සුළු වන අතර භාවිතා කරන විට සහ ගබඩා කරන විට විශේෂ සැලකිල්ලක් අවශ්‍ය වේ.

පරිසරයට ඇති බලපෑම

ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් ඉහළ වායුගෝලීය ආයු කාලයක් සහ GWP අගයන් ඇති අතර, ඒවා වායුගෝලීය ඕසෝන් ස්ථරයට විනාශකාරී බලපෑමක් ඇති කරන අතර ගෝලීය උණුසුම හා පරිසර දූෂණයට හේතු විය හැක.

ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ වැනි නැගී එන ක්ෂේත්‍රවල වායූන් යෙදීම ගැඹුරු වෙමින් පවතින අතර, කාර්මික වායු සඳහා විශාල නව ඉල්ලුමක් ගෙන එයි. ඉදිරි වසර කිහිපය තුළ චීනයේ ප්‍රධාන භූමියේ අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රදර්ශන පැනල් වැනි ප්‍රධාන ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල නව නිෂ්පාදන ධාරිතාව විශාල ප්‍රමාණයක් මෙන්ම ඉලෙක්ට්‍රොනික රසායනික ද්‍රව්‍ය ආනයන ආදේශනය සඳහා ඇති දැඩි ඉල්ලුම මත පදනම්ව, දේශීය ඉලෙක්ට්‍රොනික ගෑස් කර්මාන්තය ඉහළ වර්ධන වේගයක් ඇති කරනු ඇත.