ඉලෙක්ට්රොනිකවිශේෂ වායුවිශේෂ වායුවල වැදගත් ශාඛාවකි. ඒවා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සෑම සබැඳියක්ම පාහේ විනිවිද යන අතර අති විශාල පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ, පැතලි පැනල් සංදර්ශක උපාංග සහ සූර්ය කෝෂ වැනි ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්ත නිෂ්පාදනය සඳහා අත්‍යවශ්‍ය අමුද්‍රව්‍ය වේ.

අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණයේ දී ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් බහුලව භාවිතා වේ. වර්තමානයේ, ගෝලීය ඉලෙක්ට්‍රොනික වායු වෙළඳපොලේ, ෆ්ලෝරීන් අඩංගු ඉලෙක්ට්‍රොනික වායු සමස්තයෙන් 30% ක් පමණ වේ. ෆ්ලෝරීන් අඩංගු ඉලෙක්ට්‍රොනික වායු ඉලෙක්ට්‍රොනික තොරතුරු ද්‍රව්‍ය ක්ෂේත්‍රයේ විශේෂ ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුවල වැදගත් අංගයකි. ඒවා ප්‍රධාන වශයෙන් පිරිසිදු කිරීමේ කාරක සහ කැටයම් කාරක ලෙස භාවිතා කරන අතර මාත්‍රණ, චිත්‍රපට සෑදීමේ ද්‍රව්‍ය ආදිය ලෙසද භාවිතා කළ හැකිය. මෙම ලිපියෙන් කතුවරයා ඔබව සාමාන්‍ය ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් පිළිබඳව අවබෝධ කර ගනු ඇත.

පහත දැක්වෙන්නේ බහුලව භාවිතා වන ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායු වේ

නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3): සාමාන්‍යයෙන් ප්‍රතික්‍රියා කුටි සහ උපකරණ මතුපිට පිරිසිදු කිරීම සඳහා භාවිතා කරන තැන්පතු පිරිසිදු කිරීම සහ ඉවත් කිරීම සඳහා භාවිතා කරන වායුවකි.

සල්ෆර් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (SF6): ඔක්සයිඩ් තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන්හි සහ පරිවාරක මාධ්‍ය පිරවීම සඳහා පරිවාරක වායුවක් ලෙස භාවිතා කරන ෆ්ලෝරීන් කාරකයකි.

හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් (HF): සිලිකන් මතුපිටින් ඔක්සයිඩ ඉවත් කිරීමට සහ සිලිකන් සහ අනෙකුත් ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීම සඳහා etchant ලෙස භාවිතා කරයි.

නයිට්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් (NF): සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් (SiN) සහ ඇලුමිනියම් නයිට්‍රයිඩ් (AlN) වැනි ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමට භාවිතා කරයි.

Trifluoromethane (CHF3) සහtetrafluoromethane (CF4): සිලිකන් ෆ්ලෝරයිඩ් සහ ඇලුමිනියම් ෆ්ලෝරයිඩ් වැනි ෆ්ලෝරයිඩ් ද්රව්ය කැටයම් කිරීමට භාවිතා කරයි.

කෙසේ වෙතත්, ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන්ට විෂ බව, විඛාදන බව සහ ගිනිගැනීම් ඇතුළු ඇතැම් අන්තරායන් ඇත.

විෂ වීම

සමහර ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන් හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් (HF) වැනි විෂ සහිත වන අතර ඒවායේ වාෂ්ප සමට සහ ශ්වසන පත්‍රයට බෙහෙවින් කෝපයක් ඇති කරන අතර මිනිස් සෞඛ්‍යයට හානිකර වේ.

විඛාදන බව

හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ් සහ සමහර ෆ්ලෝරයිඩ් අධික ලෙස විඛාදනයට ලක්වන අතර සමට, ඇස්වලට සහ ශ්වසන මාර්ගයට බරපතල හානි සිදු කළ හැකිය.

ගිනි අවුලුවන

සමහර ෆ්ලෝරයිඩ් ගිනි අවුලුවන අතර වාතයේ ඔක්සිජන් හෝ ජලය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර දැඩි තාපය සහ විෂ වායු මුදා හරින අතර එමඟින් ගින්නක් හෝ පිපිරීමක් ඇති විය හැක.

අධි පීඩන අන්තරාය

සමහර ෆ්ලෝරීන් වායුව අධි පීඩනය යටතේ පුපුරන සුලු වන අතර භාවිතා කරන විට සහ ගබඩා කිරීමේදී විශේෂ සැලකිල්ලක් අවශ්ය වේ.

පරිසරයට බලපෑම

ෆ්ලෝරීන් අඩංගු වායූන්ට ඉහළ වායුගෝලීය ආයු කාලයක් සහ GWP අගයන් ඇති අතර ඒවා වායුගෝලීය ඕසෝන් ස්ථරයට විනාශකාරී බලපෑමක් ඇති කරන අතර ගෝලීය උණුසුම හා පරිසර දූෂණයට හේතු විය හැක.

ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ වැනි නැගී එන ක්ෂේත්‍රවල වායු යෙදීම අඛණ්ඩව ගැඹුරු වන අතර කාර්මික වායු සඳහා නව ඉල්ලුමක් විශාල ප්‍රමාණයක් ගෙන එයි. ඉදිරි වසර කිහිපය තුළ චීනයේ ප්‍රධාන භූමියේ අර්ධ සන්නායක සහ ප්‍රදර්ශන පැනල් වැනි ප්‍රධාන ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල නව නිෂ්පාදන ධාරිතාව විශාල ප්‍රමාණයක් මෙන්ම ඉලෙක්ට්‍රොනික රසායනික ද්‍රව්‍ය ආදේශ කිරීම සඳහා ඇති දැඩි ඉල්ලුම මත පදනම්ව, දේශීය ඉලෙක්ට්‍රොනික ගෑස් කර්මාන්තය ආරම්භ වනු ඇත. ඉහළ වර්ධන වේගයක්.