පොදු ෆ්ලෝරීන් අඩංගු විශේෂ ඉලෙක්ට්රොනික වායු ඇතුළත් වේසල්ෆර් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (SF6), ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (WF6),කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් (CF4), ට්‍රයිෆ්ලෝරෝමීතේන් (CHF3), නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3), හෙක්සාෆ්ලෝරෝඊතේන් (C2F6) සහ ඔක්ටෆ්ලෝරෝප්‍රොපේන් (C3F8).
නැනෝ තාක්‍ෂණයේ දියුණුවත් ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ මහා පරිමාණයේ දියුණුවත් සමඟ එහි ඉල්ලුම දිනෙන් දින ඉහළ යනු ඇත. නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ්, පැනල් සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සහ සැකසීමේදී අත්‍යවශ්‍ය සහ විශාලතම භාවිතා කරන විශේෂ ඉලෙක්ට්රොනික වායුවක් ලෙස පුළුල් වෙළඳපල අවකාශයක් ඇත.
ෆ්ලෝරීන් අඩංගු විශේෂ වායු වර්ගයක් ලෙස,නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3)විශාලතම වෙළඳපල ධාරිතාව සහිත ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ ගෑස් නිෂ්පාදනය වේ. එය කාමර උෂ්ණත්වයේ දී රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීය වේ, ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී ඔක්සිජන් වලට වඩා ක්‍රියාකාරී වේ, ෆ්ලෝරීන් වලට වඩා ස්ථායී වන අතර හැසිරවීමට පහසුය. නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් ප්‍රධාන වශයෙන් ප්ලාස්මා කැටයම් වායුවක් සහ ප්රතික්රියා කුටීර පිරිසිදු කිරීමේ කාරකයක් ලෙස භාවිතා කරන අතර අර්ධ සන්නායක චිප්ස්, පැතලි පැනල් සංදර්ශක, දෘශ්‍ය තන්තු, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සෛල ආදිය නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍ර සඳහා සුදුසු වේ.
අනෙකුත් ෆ්ලෝරීන් අඩංගු ඉලෙක්ට්රොනික වායු සමඟ සසඳන විට,නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ්වේගවත් ප්රතික්රියා සහ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයේ වාසි ඇත. විශේෂයෙන් සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් වැනි සිලිකන් අඩංගු ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමේදී, එය ඉහළ කැටයම් අනුපාතයක් සහ තෝරා ගැනීමේ හැකියාවක් ඇති අතර, එය කැටයම් කරන ලද වස්තුවේ මතුපිට ඉතිරි නොවේ. එය ඉතා හොඳ පිරිසිදු කිරීමේ කාරකයක් වන අතර මතුපිටට කිසිදු දූෂණයක් නොමැති අතර, සැකසීමේ ක්රියාවලියේ අවශ්යතා සපුරාලිය හැකිය.
පසු කාලය: සැප්-14-2024
