වඩාත්ම පාවිච්චි කළ ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායුව - නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ්

පොදු ෆ්ලෝරීන් අඩංගු විශේෂ ඉලෙක්ට්රොනික වායූන් ඇතුළත් වේසල්ෆර් හෙක්ස්ෆ්ලෝරයිඩ් (SF6), ටංස්ටන් හෙක්සෆ්ලෝරයිඩ් (WF6),කාබන් ටෙට්රාෆ්ලුයිඩ් (සීඑෆ් 4), ට්රයිෆ්ලෝරෝමෙතේන් (CHF3), නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (එන්එෆ් 3), හෙක්ස්ෆ්ලූරෙතීන් (සී 2 එෆ් 36) සහ ඔක්ටැෆ්ලෝරෝප්රෝපනේ (සී 3f8).

නානාංශ විද්යාව සංවර්ධනය කිරීම සහ ඉලෙක්ට්රොනික් කර්මාන්තයේ මහා පරිමාණ සංවර්ධනය කිරීමත් සමඟ එහි ඉල්ලුම දිනෙන් දින වැඩි වේ. මණ්ඩල හා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය හා සැකසීමේදී අත්යවශ්ය හා විශාලතම විද්යුත් වායුවක් ලෙස නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් පුළුල් වෙළඳපල අවකාශයක් ඇත.

ෆ්ලෝරීන් වර්ගයක් ලෙස විශේෂ වායුවක්,නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3)විශාලතම වෙළඳපල ධාරිතාව සමඟ විද්යුත් විශේෂ ගෑස් නිෂ්පාදනය වේ. කාමර උෂ්ණත්වයේ දී රසායනිකව නිෂ්ක්රීය, ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී ඔක්සිජන් වලට වඩා ක්රියාකාරී වන අතර ෆ්ලෝරීන් වලට වඩා ස්ථාවර හා හැසිරවීමට පහසුය. නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් ප්රධාන වශයෙන් ප්ලාස්මා එච්චීකරණ වායුවක් සහ ප්රතික්රියා කුටීර පිරිසිදු කිරීමේ නියෝජිතයෙකු ලෙස භාවිතා කරන අතර අර්ධ සන්නායක චිප්ස්, පැතලි පැනල් සංදර්ශක, ඔප්ටිකල් තන්තු, ඡායාරූප වන්දනා, ඡායාරූප වල් පැලෑටි ආදිය.

වෙනත් ෆ්ලෝරීන් සහිත ඉලෙක්ට්රොනික වායු ආශ්රිතයන් සමඟ සසඳන විට,නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ්වේගවත් ප්රතික්රියා සහ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයේ වාසි ඇත. විශේෂයෙන් සිලිකන් නයිට්රයිඩ් වැනි සිලිකන් අඩංගු ද්රව්ය සාරාංශගත කිරීම තුළ, එහි ඉහළ එකිං අනුපාතයක් සහ තේරීමක් ඇති අතර, හිසකෙස් ඇති වස්තුවේ මතුපිට නොපෙනී යයි. එය ඉතා හොඳ පිරිසිදු කිරීමේ නියෝජිතයෙකු වන අතර සැකසුම් ක්රියාවලියේ අවශ්යතා සපුරාලිය හැකි පෘෂ් on යට දූෂණයක් නොමැති අතර එමඟින් සැකසුම් ක්රියාවලියේ අවශ්යතා සපුරාලිය හැකිය.