අපේ රටේ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත හා කමිටු කර්මාන්තය ඉහළ මට්ටමේ සමෘද්ධියක් පවත්වාගෙන යයි. මණ්ඩලයේ සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය හා සැකසීමේදී අත්යවශ්ය හා විශාලතම විද්යුත් වායුවක් ලෙස නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් පුළුල් වෙළඳපල අවකාශයක් ඇත.
බහුලව භාවිතා වන ෆ්ලෝරීන් අඩංගු විශේෂ ඉලෙක්ට්රොනික වායූන් ඇතුළත් වේසල්ෆර් හෙක්ස්ෆ්ලෝරයිඩ් (SF6), ටංස්ටන් හෙක්සෆ්ලෝරයිඩ් (WF6),කාබන් ටෙට්රාෆ්ලුයිඩ් (සීඑෆ් 4), ට්රයිෆ්ලෝරෝමෙතේන් (CHF3), නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (එන්එෆ් 3), හෙක්ස්ෆ්ලූරෙතීන් (සී 2 එෆ් 36) සහ ඔක්ටැෆ්ලෝරෝප්රෝපනේ (සී 3f8). හයිඩ්රජන් ෆ්ලෝරයිඩ්-ෆ්ලෝරයිඩ් ගෑස් අධිරාජ්ය රසායනික ලේසර් සඳහා නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (එන්එෆ් 3) ප්රධාන වශයෙන් භාවිතා වේ. එච් 2-ඕ 2 සහ එෆ් 2 අතර ප්රතික්රියා බලශක්තියෙන් (25% ක් පමණ) ඇති effective ලදායී කොටස ලේසර් විකිරණ මගින් මුදා හැරිය හැක, එබැවින් රසායනික ලේසර් අතර වඩාත්ම හොඳ ලේසර් එච්.එෆ්.
නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රෝන විද්යා ක්ෂේත්රයේ විශිෂ්ට ප්ලාස්මා එච්ච්චායින ගෑස් ය. සිලිකන් සහ සිලිකන් නයිට්රයිඩ් එච්.සී.එච්. විශේෂයෙන් 1.5um ට අඩු thickness ණකම සහිත ඒකාබද්ධ පරිපථ ද්රව්ය සහිත ඒකාබද්ධ පරිපථ ද්රව්ය සහිත නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් ඉතා විශිෂ්ට එතීරි අනුපාතය සහ තෝරාගැනීමක් ඇත. නානාංශ විද්යාව සංවර්ධනය කිරීම සහ ඉලෙක්ට්රොනික් කර්මාන්තයේ මහා පරිමාණ සංවර්ධනය කිරීමත් සමඟ එහි ඉල්ලුම දිනෙන් දින වැඩි වේ.
මෙට්රෝජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් වර්ගයක් වන නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3) වර්ගයක් ලෙස වෙළඳපොලේ විශාලතම විද්යුත් විශේෂ ගෑස් නිෂ්පාදනය වේ. කාමර උෂ්ණත්වයේ දී එය රසායනිකව නිෂ්ක්රීය ය, ඔක්සිජන් වලට වඩා ක්රියාකාරී, ෆ්ලෝරීන් වලට වඩා ස්ථාවර, සහ ඉහළ උෂ්ණත්වක හැසිරවිය හැකි.
නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් ප්රධාන වශයෙන් ප්ලාස්මා එතීරි සහ ප්රතික්රියා කුටීර පිරිසිදු කිරීමේ නියෝජිතයා ලෙස අර්ධ සන්නායක චිප්ස්, පැතලි පැනල් සංදර්ශක, දෘශ්ය තන්තු, ෆූමැටික් තන්තු, ෆූටික් තන්තුවර, ඡායාරූප වල් පැලෑටි යනාදිය ලෙස භාවිතා කරයි.
අනෙකුත් ෆ්ලෝරීන් සහිත ඉලෙක්ට්රොනික වායූන් අඩංගු අනෙකුත් ෆ්ලෝරීන් වාසි, විශේෂයෙන් සිලිකන් නයිට්රිඩ් වැනි සිලිකන් අඩංගු ද්රව්යවල වාසස්ථානවල වාසස්ථාන ඇත, එය ඉතා හොඳ පිරිසිදු කිරීමේ නියෝජිතයෙකු වන අතර එය මතුපිටට නොගැලපෙන අතර සැකසුම් ක්රියාවලියේ අවශ්යතා සපුරාලයි.
පශ්චාත් කාලය: දෙසැම්බර් 26-2024
