අපේ රටේ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සහ පැනල් කර්මාන්තය ඉහළ මට්ටමේ සමෘද්ධියක් පවත්වා ගනී. පැනල් සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සහ සැකසීමේදී අත්‍යවශ්‍ය සහ විශාලතම පරිමාවේ විශේෂ ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුවක් ලෙස නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් පුළුල් වෙළඳපල අවකාශයක් ඇත.
බහුලව භාවිතා වන ෆ්ලෝරීන් අඩංගු විශේෂ ඉලෙක්ට්‍රොනික වායු අතරටසල්ෆර් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (SF6), ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (WF6),කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් (CF4), ට්‍රයිෆ්ලෝරෝමීතේන් (CHF3), නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3), හෙක්සාෆ්ලෝරෝඊතේන් (C2F6) සහ ඔක්ටාෆ්ලෝරෝප්‍රොපේන් (C3F8). නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3) ප්‍රධාන වශයෙන් හයිඩ්‍රජන් ෆ්ලෝරයිඩ්-ෆ්ලෝරයිඩ් වායු අධි ශක්ති රසායනික ලේසර් සඳහා ෆ්ලෝරීන් ප්‍රභවයක් ලෙස භාවිතා කරයි. H2-O2 සහ F2 අතර ප්‍රතික්‍රියා ශක්තියේ ඵලදායී කොටස (25% පමණ) ලේසර් විකිරණ මගින් මුදා හැරිය හැක, එබැවින් HF-OF ලේසර් රසායනික ලේසර් අතර වඩාත්ම පොරොන්දු වූ ලේසර් වේ.
නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් යනු ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ විශිෂ්ට ප්ලාස්මා කැටයම් වායුවකි. සිලිකන් සහ සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් කැටයම් කිරීම සඳහා, නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් සහ කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් සහ ඔක්සිජන් මිශ්‍රණයකට වඩා ඉහළ කැටයම් අනුපාතයක් සහ තේරීමක් ඇති අතර මතුපිටට කිසිදු දූෂණයක් නොමැත. විශේෂයෙන් 1.5um ට අඩු ඝනකමක් සහිත ඒකාබද්ධ පරිපථ ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමේදී, නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් ඉතා විශිෂ්ට කැටයම් අනුපාතයක් සහ තේරීමක් ඇති අතර, කැටයම් කළ වස්තුවේ මතුපිට කිසිදු අපද්‍රව්‍යයක් ඉතිරි නොකරන අතර ඉතා හොඳ පිරිසිදු කිරීමේ කාරකයක් ද වේ. නැනෝ තාක්‍ෂණයේ දියුණුව සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ මහා පරිමාණ සංවර්ධනයත් සමඟ එහි ඉල්ලුම දිනෙන් දින වැඩි වනු ඇත.
ෆ්ලෝරීන් අඩංගු විශේෂ වායු වර්ගයක් ලෙස, නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF3) වෙළඳපොලේ ඇති විශාලතම ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායු නිෂ්පාදනයයි. එය කාමර උෂ්ණත්වයේ දී රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීය, ඔක්සිජන් වලට වඩා ක්‍රියාකාරී, ෆ්ලෝරීන් වලට වඩා ස්ථායී සහ ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී හැසිරවීමට පහසුය.
නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් ප්‍රධාන වශයෙන් ප්ලාස්මා කැටයම් වායුව සහ ප්‍රතික්‍රියා කුටීර පිරිසිදු කිරීමේ කාරකය ලෙස භාවිතා කරන අතර අර්ධ සන්නායක චිප්ස්, පැතලි පැනල් සංදර්ශක, දෘශ්‍ය තන්තු, ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා සෛල වැනි නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍ර සඳහා සුදුසු වේ.
අනෙකුත් ෆ්ලෝරීන් අඩංගු ඉලෙක්ට්‍රොනික වායු හා සසඳන විට, නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් වේගවත් ප්‍රතික්‍රියාවේ සහ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයේ වාසි ඇත, විශේෂයෙන් සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් වැනි සිලිකන් අඩංගු ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමේදී, එය ඉහළ කැටයම් අනුපාතයක් සහ තේරීමක් ඇති අතර, කැටයම් කරන ලද වස්තුවේ මතුපිට කිසිදු අපද්‍රව්‍යයක් ඉතිරි නොකරන අතර ඉතා හොඳ පිරිසිදු කිරීමේ කාරකයක් ද වන අතර, එය මතුපිටට දූෂණය නොවන අතර සැකසුම් ක්‍රියාවලියේ අවශ්‍යතා සපුරාලිය හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-26-2024
