සාපේක්ෂව දියුණු නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සහිත අර්ධ සන්නායක වේෆර් අත්තිවාරම් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, විවිධ වායු වර්ග 50කට ආසන්න ප්‍රමාණයක් අවශ්‍ය වේ. වායු සාමාන්‍යයෙන් තොග වායු ලෙස බෙදා ඇති අතරවිශේෂ වායු.

ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තවල වායූන් යෙදීම අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි වායු භාවිතය සැමවිටම වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කර ඇත, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන් විවිධ කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ. ULSI, TFT-LCD සිට වර්තමාන ක්ෂුද්‍ර විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික (MEMS) කර්මාන්තය දක්වා, අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන් වියළි කැටයම් කිරීම, ඔක්සිකරණය, අයන බද්ධ කිරීම, තුනී පටල තැන්පත් කිරීම යනාදිය ඇතුළුව නිෂ්පාදන නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් ලෙස භාවිතා කරයි.

උදාහරණයක් ලෙස, චිප්ස් වැලි වලින් සාදා ඇති බව බොහෝ අය දනිති, නමුත් චිප් නිෂ්පාදනයේ සමස්ත ක්‍රියාවලිය දෙස බලන විට, ෆොටෝරෙසිස්ට්, ඔප දැමීමේ ද්‍රව, ඉලක්ක ද්‍රව්‍ය, විශේෂ වායුව වැනි තවත් ද්‍රව්‍ය අවශ්‍ය වේ. පසුපස ඇසුරුම් සඳහා විවිධ ද්‍රව්‍යවල උපස්ථර, අන්තර් සම්බන්ධක, ඊයම් රාමු, බන්ධන ද්‍රව්‍ය ආදිය අවශ්‍ය වේ. සිලිකන් වේෆර් වලින් පසු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පිරිවැයේ දෙවන විශාලතම ද්‍රව්‍යය ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායු වන අතර පසුව වෙස් මුහුණු සහ ෆොටෝරෙසිස්ට් වේ.

වායුවේ සංශුද්ධතාවය සංරචක ක්‍රියාකාරිත්වය සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න කෙරෙහි තීරණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරන අතර ගෑස් සැපයුමේ ආරක්ෂාව කාර්ය මණ්ඩලයේ සෞඛ්‍යයට සහ කර්මාන්තශාලා ක්‍රියාකාරිත්වයේ ආරක්ෂාවට සම්බන්ධ වේ. වායුවේ සංශුද්ධතාවය ක්‍රියාවලි රේඛාවට සහ කාර්ය මණ්ඩලයට මෙතරම් විශාල බලපෑමක් ඇති කරන්නේ ඇයි? මෙය අතිශයෝක්තියක් නොවේ, නමුත් වායුවේම භයානක ලක්ෂණ මගින් තීරණය වේ.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන වායූන් වර්ගීකරණය

සාමාන්‍ය ගෑස්

සාමාන්‍ය වායුව තොග වායුව ලෙසද හැඳින්වේ: එය 5N ට අඩු සංශුද්ධතා අවශ්‍යතාවයක් සහ විශාල නිෂ්පාදන සහ විකුණුම් පරිමාවක් සහිත කාර්මික වායුවකි. විවිධ සකස් කිරීමේ ක්‍රම අනුව එය වායු වෙන් කිරීමේ වායුව සහ කෘතිම වායුව ලෙස බෙදිය හැකිය. හයිඩ්‍රජන් (H2), නයිට්‍රජන් (N2), ඔක්සිජන් (O2), ආගන් (A2), ආදිය;

විශේෂිත ගෑස්

විශේෂිත වායුව යනු නිශ්චිත ක්ෂේත්‍රවල භාවිතා වන සහ සංශුද්ධතාවය, විවිධත්වය සහ ගුණාංග සඳහා විශේෂ අවශ්‍යතා ඇති කාර්මික වායුවකි. ප්‍රධාන වශයෙන්.සිඑච්4, PH3, B2H6, A8H3,එච්.සී.එල්., සීඑෆ්4,එන්එච්3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,එන්එච්3, බීසීඑල්3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,එස්එෆ් 6… සහ යනාදි.

ස්පීෂල් වායු වර්ග

විශේෂ වායු වර්ග: විඛාදන, විෂ සහිත, දැවෙන, දහනයට සහාය වන, නිෂ්ක්‍රීය, ආදිය.
බහුලව භාවිතා වන අර්ධ සන්නායක වායු පහත පරිදි වර්ගීකරණය කර ඇත:
(i) විඛාදන/විෂ සහිත:එච්.සී.එල්.、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、ක්‍රි.පූ.3…
(ii) දැවෙන සුළු: H2,සීඑච් 4、සිඑච්4、PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO...
(iii) දහනය කළ හැකි: O2,Cl2,N2O,NF3…
(iv) නිෂ්ක්‍රීය: N2,සීඑෆ් 4、සී2එෆ්6、සී 4 එෆ් 8、එස්එෆ් 6, CO2 ,Ne、Kr, ඔහු...

අර්ධ සන්නායක චිප නිෂ්පාදනයේ ක්‍රියාවලියේදී, ඔක්සිකරණය, විසරණය, තැන්පත් කිරීම, කැටයම් කිරීම, එන්නත් කිරීම, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි සහ අනෙකුත් ක්‍රියාවලීන් සඳහා විවිධ වර්ගයේ විශේෂ වායු (විශේෂ වායු ලෙස හැඳින්වේ) 50ක් පමණ භාවිතා කරන අතර, මුළු ක්‍රියාවලි පියවර සිය ගණනක් ඉක්මවයි. උදාහරණයක් ලෙස, අයන බද්ධ කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී PH3 සහ AsH3 පොස්පරස් සහ ආසනික් ප්‍රභවයන් ලෙස භාවිතා කරයි, F-පාදක වායු CF4, CHF3, SF6 සහ හැලජන් වායු CI2, BCI3, HBr කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී බහුලව භාවිතා වේ, තැන්පත් කිරීමේ පටල ක්‍රියාවලියේදී SiH4, NH3, N2O, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේදී F2/Kr/Ne, Kr/Ne භාවිතා වේ.

ඉහත කරුණු වලින් අපට තේරුම් ගත හැක්කේ බොහෝ අර්ධ සන්නායක වායු මිනිස් සිරුරට හානිකර බවයි. විශේෂයෙන්, SiH4 වැනි සමහර වායූන් ස්වයං-ජ්වලනය වේ. ඒවා කාන්දු වන තාක් කල්, ඒවා වාතයේ ඔක්සිජන් සමඟ ප්‍රචණ්ඩ ලෙස ප්‍රතික්‍රියා කර දැවී යාමට පටන් ගනී; සහ AsH3 ඉතා විෂ සහිත වේ. ඕනෑම සුළු කාන්දුවක් මිනිසුන්ගේ ජීවිතවලට හානි කළ හැකි බැවින්, විශේෂ වායු භාවිතය සඳහා පාලන පද්ධති සැලසුමේ ආරක්ෂාව සඳහා අවශ්‍යතා විශේෂයෙන් ඉහළ ය.

අර්ධ සන්නායකවලට "අංශක තුනක්" තිබීම සඳහා අධි සංශුද්ධතා වායු අවශ්‍ය වේ.

වායු සංශුද්ධතාවය

වායුවේ අපිරිසිදු වායුගෝලයේ අන්තර්ගතය සාමාන්‍යයෙන් 99.9999% වැනි වායු සංශුද්ධතාවයේ ප්‍රතිශතයක් ලෙස ප්‍රකාශ වේ. සාමාන්‍යයෙන්, ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායු සඳහා සංශුද්ධතාවයේ අවශ්‍යතාවය 5N-6N දක්වා ළඟා වන අතර, අපිරිසිදු වායුගෝලීය අන්තර්ගතයේ පරිමාව අනුපාතය ppm (මිලියනයකට කොටසක්), ppb (බිලියනයකට කොටසක්) සහ ppt (ට්‍රිලියනයකට කොටසක්) මගින් ද ප්‍රකාශ වේ. ඉලෙක්ට්‍රොනික අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්‍රය විශේෂ වායූන්ගේ සංශුද්ධතාවය සහ ගුණාත්මක ස්ථායිතාව සඳහා ඉහළම අවශ්‍යතා ඇති අතර ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායූන්ගේ සංශුද්ධතාවය සාමාන්‍යයෙන් 6N ට වඩා වැඩිය.

වියළි බව

වායුවේ ඇති අංශු මාත්‍ර ජලයේ අන්තර්ගතය හෙවත් ආර්ද්‍රතාවය සාමාන්‍යයෙන් වායුගෝලීය පිනි ලක්ෂ්‍යය -70℃ වැනි පිනි ලක්ෂ්‍යයෙන් ප්‍රකාශ වේ.

පිරිසිදුකම

වායුවේ ඇති දූෂක අංශු ගණන, අංශු ප්‍රමාණය µm සහිත අංශු, අංශු කීයක්/M3 කින් ප්‍රකාශ වේ. සම්පීඩිත වාතය සඳහා, එය සාමාන්‍යයෙන් තෙල් අන්තර්ගතය ඇතුළත් නොවැළැක්විය හැකි ඝන අපද්‍රව්‍යවල mg/m3 වලින් ප්‍රකාශ වේ.