සාපේක්ෂව දියුණු නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන් සහිත අර්ධ සන්නායක වේර් අත්තිවාරම් වල නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය තුළ, විවිධ වර්ගයේ වායූන් 50 කට ආසන්න ප්රමාණයක් අවශ්ය වේ. වායූන් සාමාන්යයෙන් තොග වායූන් වලට බෙදී යයිවිශේෂ වායූන්.

ක්ෂුද්ර රටා සහ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තවල වායූන් භාවිතා කිරීම වායූන් භාවිතය අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන්හි සෑම විටම වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කර ඇත, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් විවිධ කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ. වත්මන් ක්ෂුද්ර-විද්යුත් යාන්ත්රික (MEMS) කර්මාන්තයට TFT-LCD වෙතින්, අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන්, ඔක්සිකාෂන්, අයන බද්ධ කිරීම, තුනී පටල තැන්පත් කිරීම වැනි නිෂ්පාදන නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන් ලෙස භාවිතා කරයි.

නිදසුනක් වශයෙන්, චිප්ස් වැලි වලින් සෑදී ඇති බව බොහෝ අය දනිති, නමුත් ඡායාරූප, ඔප දැමීමේ ද්රව, ඉලක්ක ද්රව්ය, විශේෂ ගෑස් ආදිය වැනි චිප් නිෂ්පාදනයේ මුළු ක්රියාවලියම, වැඩි ද්රව්ය අවශ්ය වේ. පසුපසට ඇසුරුම්කරණයට විවිධ ද්රව්යවල උපස්ථර, අතුරුචාර්යවරුන්, ඊයම් රාමු, බන්ධන ද්රව්ය ආදිය උපස්ථර අවශ්ය වේ. විද්යුත් විශේෂ වායූන් සිලිකන් වම්පසර් පසු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පිරිවැයේ දෙවන විශාලතම තොරතුරු වන අතර පසුව වෙස් මුහුණු සහ ෆොටෝ ෆොටෝරිස්වරු.

වායුවේ සංශුද්ධතාවය සංරචක කාර්ය සාධනය සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න කෙරෙහි තීරණාත්මක බලපෑමක් ඇති අතර ගෑස් සැපයුමේ ආරක්ෂාව පිරිස්වල සෞඛ්යයට හා කර්මාන්තශාලා මෙහෙයුමේ සෞඛ්යයට සම්බන්ධ වේ. ගෑස් වල සංශුද්ධතාවය ක්රියා රේඛාව හා පිරිස් කෙරෙහි එතරම් විශාල බලපෑමක් ඇති කරන්නේ ඇයි? මෙය අතිශයෝක්තියක් නොවේ, නමුත් ගෑස් හි භයානක ලක්ෂණ අනුව තීරණය වේ.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ පොදු වායු වර්ගීකරණය

සාමාන්ය වායුව

සාමාන්ය වායුව තොග වායුව ලෙසද හැඳින්වේ: එය කාර්මික වායුව 5n ට වඩා අඩු සහ විශාල නිෂ්පාදන හා විකුණුම් පරිමාවක් සහිතව කාර්මික වායුවකි. විවිධ සැකසීමේ ක්රම අනුව එය වායු වෙන් කිරීමේ වායුව සහ කෘතිම වායුවලට බෙදිය හැකිය. හයිඩ්රජන් (එච් 2), නයිට්රජන් (N2), ඔක්සිජන් (O2), ආගන් (A2), ආදිය;

විශේෂ වායුව

විශේෂිත කුටිය නිශ්චිත ක්ෂේත්රවල භාවිතා වන කාර්මික වායුව ගැන සඳහන් වන අතර පිරිසිදුකම, විවිධත්වය සහ ගුණාංග සඳහා විශේෂ අවශ්යතා ඇත. ප්රධාන වශයෙන්Sih4, PH3, B2H6, A8H3,Hcl, සීඑෆ් 4,NH3, පොක්ල 3, සීඑච්ඩබ්ලිව්එල් 2, සීඑච්කේ 3,NH3, BCL3, Sif4, clf3, co, c2f6, n2o, f2, HF, HB, HF, HF, HF, HB,Sf6… සහ යනාදි.

කුටි වායූන් වර්ග

විශේෂ වායූන් වර්ග: විඛාදන, විෂ සහිත, දැවෙන, දහනය-සහාය, නිෂ්ක්රීය, නිෂ්ක්රීය, නිෂ්ක්රීය, නිෂ්ක්රීය, නිෂ්ක්රීය, නිෂ්ක්රීය තොරතුරු යනාදිය.
බහුලව භාවිතා වන අර්ධ සන්නායක වායූන් පහත පරිදි වර්ගීකරණය කර ඇත:
(i) විඛාදන / විෂ:Hcl, බීඑෆ් 3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) දැවිල්ල: එච් 2,Ch4,Sih4, PH3, ASH3, SIH2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CH3F, CO ...
(iii) දහනය කළ හැකි: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) නිෂ්කාශනය: N2,Cf4, C2F6,C4f8,Sf6, CO2,Ne,Kr, ඔහු ...

අර්ධ සන්නායක චිපයේ නිෂ්පාදනයේ ක්රියාවලියේදී, ඔක්සිකරණය, විසරණය, තැන්පත් කිරීම, තැන්පත් කිරීම, ලේඛනය සහ වෙනත් ක්රියාදාමයන් සඳහා විවිධ වර්ගයේ විශේෂ වායූන් (විශේෂ වායූන් ලෙස හැඳින්වේ) භාවිතා වේ. මුළු ක්රියාවලි පියවර සිය ගණනකට වඩා වැඩි ය. For example, PH3 and AsH3 are used as phosphorus and arsenic sources in the ion implantation process, F-based gases CF4, CHF3, SF6 and halogen gases CI2, BCI3, HBr are commonly used in the etching process, SiH4, NH3, N2O in the deposition film process, F2/Kr/Ne, Kr/Ne in the photolithography process.

ඉහත කරුණු වලින්, බොහෝ අර්ධ සන්නායක වායූන් මිනිස් සිරුරට හානිකර බව අපට තේරුම් ගත හැකිය. විශේෂයෙන්, සීඑච් 4 වැනි සමහර වායූන් ස්වයං ජ්වලනයකි. ඔවුන් කාන්දු වන තාක් කල්, ඔවුන් වාතයේ ඇති ඔක්සිජන් සමඟ ප්රචණ්ඩ ලෙස ප්රතික්රියා කර පුළුස්සා දැමීමට පටන් ගනී; ASH3 ඉතා විෂ සහිත වේ. ඕනෑම සුළු කාන්දුවක් මිනිසුන්ගේ ජීවිතවලට හානියක් විය හැකිය, එබැවින් විශේෂ වායූන් භාවිතය සඳහා පාලක පද්ධතියේ ආරක්ෂාව සඳහා වන අවශ්යතා විශේෂයෙන් ඉහළ ය.

අර්ධ සන්නායකයින්ට ඉහළ සංශුද්ධවීමේ වායූන් "අංශක තුනක්" තිබීම අවශ්ය වේ

ගෑස් සංශුද්ධතාවය

වායුවේ අපිරිසිදු වාතාවරණයේ අන්තර්ගතය සාමාන්යයෙන් 99.9999% වැනි ගෑස් සංශුද්ධතාවයේ ප්රතිශතයක් ලෙස ප්රකාශ වේ. පොදුවේ ගත් කල, ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායූන් සඳහා සංශුද්ධවීමේ අවශ්යතාවය 5n-66 වන අතර, අපිරිසිදු වායුගෝලයේ අන්තර්ගතය (මිලියනයකට), පීපීබී (ට්රෙන්ට්), පීපීටී) විශේෂ වායූන්ගේ පාරිශුද්ධ ස්ථාවරත්වය සහ ගුණාත්මක ස්ථාවරත්වය සඳහා විද්යුත් අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්රයේ ඉහළම අවශ්යතා සහ ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායූන්ගේ සංශුද්ධතාවය සාමාන්යයෙන් 6n ට වඩා වැඩි ය.

වියළි බව

වායුව හෝ තෙත් වල ඇති හෝඩුවාවේ අන්තර්ගතය සාමාන්යයෙන් වායුගෝලීය පිනි පොයින්ට් වැනි ඩිව් පොයින්ට් හි ප්රකාශ වේ -70.

පිරිසිදුකම

වායුවේ ඇති දූෂක අංශු ගණන, අංශු ප්රමාණය μm ප්රමාණයකින් යුත් අංශු අංශු / m3 කීයක් තුළ ප්රකාශ වේ. සම්පීඩිත වාතය සඳහා, එය සාමාන්යයෙන් පැහැදිලිවම නොවැළැක්විය හැකි solid න අපද්රව්යවල MG / M3 හි ප්රකාශ වන අතර එයට තෙල් අන්තර්ගතය ඇතුළත් වේ.