සාපේක්ෂව දියුණු නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සහිත අර්ධ සන්නායක වේෆර් ෆවුන්ඩරි නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී විවිධ වායූන් 50කට ආසන්න ප්‍රමාණයක් අවශ්‍ය වේ. වායූන් සාමාන්යයෙන් තොග වායූන් සහ බෙදී ඇතවිශේෂ වායු.

ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික හා අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තවල වායූන් යෙදීම අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි වායූන්ගේ භාවිතය සෑම විටම වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කර ඇත, විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන් විවිධ කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ. ULSI, TFT-LCD සිට වර්තමාන ක්ෂුද්‍ර-විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික (MEMS) කර්මාන්තය දක්වා, අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන් වියළි කැටයම්, ඔක්සිකරණය, අයන තැන්පත් කිරීම, තුනී පටල තැන්පත් කිරීම යනාදිය ඇතුළු නිෂ්පාදන නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් ලෙස භාවිතා කරයි.

උදාහරණයක් ලෙස, චිප්ස් වැලි වලින් සෑදී ඇති බව බොහෝ අය දනිති, නමුත් චිප් නිෂ්පාදනයේ සමස්ත ක්‍රියාවලිය දෙස බලන විට, ඡායාරූප ප්‍රතිරෝධය, ඔප දැමීමේ ද්‍රව, ඉලක්ක ද්‍රව්‍ය, විශේෂ වායුව වැනි තවත් ද්‍රව්‍ය අවශ්‍ය වේ. පසුපස කෙළවර ඇසුරුම් කිරීම සඳහා විවිධ ද්‍රව්‍යවල උපස්ථර, අන්තර්පෝෂක, ඊයම් රාමු, බන්ධන ද්‍රව්‍ය යනාදිය ද අවශ්‍ය වේ. ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායූන් යනු සිලිකන් වේෆර්වලින් පසු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පිරිවැයේ දෙවන විශාලතම ද්‍රව්‍යය වන අතර ඉන් පසුව වෙස් මුහුණු සහ ප්‍රකාශනකාරක වේ.

වායුවේ සංශුද්ධතාවය සංරචක ක්‍රියාකාරිත්වය සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න කෙරෙහි තීරණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරන අතර ගෑස් සැපයුමේ ආරක්ෂාව සේවකයින්ගේ සෞඛ්‍යය සහ කර්මාන්තශාලා ක්‍රියාකාරිත්වයේ ආරක්ෂාවට සම්බන්ධ වේ. වායුවේ සංශුද්ධතාවය ක්‍රියාවලි රේඛාවට සහ පිරිස්වලට මෙතරම් විශාල බලපෑමක් ඇති කරන්නේ ඇයි? මෙය අතිශයෝක්තියක් නොවේ, නමුත් වායුවේම භයානක ලක්ෂණ මගින් තීරණය වේ.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ පොදු වායු වර්ගීකරණය

සාමාන්ය ගෑස්

සාමාන්‍ය වායුව තොග වායු ලෙසද හැඳින්වේ: එය 5N ට වඩා අඩු සංශුද්ධතා අවශ්‍යතාවයක් සහ විශාල නිෂ්පාදන සහ විකුණුම් පරිමාවක් සහිත කාර්මික වායුවකට යොමු කරයි. විවිධ සකස් කිරීමේ ක්රම අනුව එය වායු වෙන් කිරීමේ වායුව සහ කෘතිම වායුව ලෙස බෙදිය හැකිය. හයිඩ්‍රජන් (H2), නයිට්‍රජන් (N2), ඔක්සිජන් (O2), ආගන් (A2) ආදිය.

විශේෂ ගෑස්

විශේෂිත වායුව යනු විශේෂිත ක්ෂේත්‍රවල භාවිතා වන කාර්මික වායුව වන අතර සංශුද්ධතාවය, විවිධත්වය සහ ගුණාංග සඳහා විශේෂ අවශ්‍යතා ඇත. ප්රධාන වශයෙන්SiH4, PH3, B2H6, A8H3,එච්.සී.එල්, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… සහ යනාදි.

විශේෂ වායු වර්ග

විශේෂ වායු වර්ග: විඛාදන, විෂ සහිත, දැවෙනසුළු, දහන ආධාරක, නිෂ්ක්රිය, ආදිය.
සාමාන්යයෙන් භාවිතා වන අර්ධ සන්නායක වායු පහත පරිදි වර්ගීකරණය කර ඇත:
(i) විඛාදන/විෂ සහිත:එච්.සී.එල්、BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2,BC3…
(ii) දැවෙනසුළු: H2,CH4,SiH4、PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO...
(iii) දහනය කළ හැකි: O2,Cl2,N2O,NF3...
(iv) නිෂ්ක්‍රීය: N2,CF4C2F6,C4F8,SF6CO2,Ne,Kr,ඔහු...

අර්ධ සන්නායක චිප නිෂ්පාදනය කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, ඔක්සිකරණය, විසරණය, තැන්පත් කිරීම, කැටයම් කිරීම, එන්නත් කිරීම, ඡායාරූප ශිලාලේඛන විද්‍යාව සහ අනෙකුත් ක්‍රියාවලීන් සඳහා විවිධ විශේෂ වායු වර්ග 50 ක් පමණ (විශේෂ වායු ලෙස හැඳින්වේ) භාවිතා කරන අතර සම්පූර්ණ ක්‍රියාවලි පියවර සිය ගණනක් ඉක්මවයි. උදාහරණයක් ලෙස, අයන තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී PH3 සහ AsH3 පොස්පරස් සහ ආසනික් ප්‍රභවයන් ලෙස භාවිතා කරයි, F-පාදක වායූන් CF4, CHF3, SF6 සහ හැලජන් වායු CI2, BCI3, HBr බහුලව භාවිතා වේ, SiH4, NH3, N2O ඡායාරූප ශිලා ලේඛන ක්‍රියාවලියේදී තැන්පත් කිරීමේ චිත්‍රපට ක්‍රියාවලිය, F2/Kr/Ne, Kr/Ne.

බොහෝ අර්ධ සන්නායක වායූන් මිනිස් සිරුරට අහිතකර බව ඉහත පැතිවලින් අපට තේරුම් ගත හැක. විශේෂයෙන්ම, SiH4 වැනි සමහර වායූන් ස්වයං-ජ්වලිත වේ. ඔවුන් කාන්දු වන තාක් කල්, ඔවුන් වාතයේ ඔක්සිජන් සමඟ ප්රචණ්ඩ ලෙස ප්රතික්රියා කර පිළිස්සීමට පටන් ගනී; සහ AsH3 ඉතා විෂ සහිත වේ. ඕනෑම සුළු කාන්දුවක් මිනිසුන්ගේ ජීවිතයට හානියක් විය හැකිය, එබැවින් විශේෂ වායු භාවිතය සඳහා පාලන පද්ධති සැලසුමේ ආරක්ෂාව සඳහා වන අවශ්යතා විශේෂයෙන් ඉහළ ය.

අර්ධ සන්නායකවලට "අංශක තුනක්" තිබීමට අධි සංශුද්ධතා වායු අවශ්‍ය වේ.

ගෑස් සංශුද්ධතාවය

වායුවේ ඇති අපිරිසිදු වායුගෝලයේ අන්තර්ගතය සාමාන්‍යයෙන් 99.9999% වැනි වායු සංශුද්ධතාවයේ ප්‍රතිශතයක් ලෙස ප්‍රකාශ වේ. සාමාන්‍යයෙන් කථා කිරීම, ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායු සඳහා සංශුද්ධතාවය අවශ්‍යතාවය 5N-6N දක්වා ළඟා වන අතර, අපිරිසිදු වායුගෝලයේ අන්තර්ගත ppm (මිලියනයකට කොටස), ppb (බිලියනයකට කොටස), සහ ppt (ට්‍රිලියනයකට කොටස) පරිමාවේ අනුපාතය මගින් ද ප්‍රකාශ වේ. ඉලෙක්ට්‍රොනික අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්‍රයට විශේෂ වායුවල සංශුද්ධතාවය සහ තත්ත්ව ස්ථායීතාවය සඳහා ඉහළම අවශ්‍යතා ඇති අතර ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවල සංශුද්ධතාවය සාමාන්‍යයෙන් 6N ට වඩා වැඩි වේ.

වියළි බව

වායුවේ හෝ තෙත් බවෙහි හෝඩුවාවක් ජලයේ අන්තර්ගතය සාමාන්‍යයෙන් වායුගෝලීය පිනි ලක්ෂ්‍යය -70℃ වැනි පිනි ලක්ෂ්‍යයෙන් ප්‍රකාශ වේ.

පිරිසිදුකම

වායුවේ ඇති දූෂක අංශු සංඛ්‍යාව, අංශු විශාලත්වය µm සහිත අංශු, අංශු/M3 කීයෙන් ප්‍රකාශ වේ. සම්පීඩිත වාතය සඳහා, එය සාමාන්යයෙන් තෙල් අන්තර්ගතය ඇතුළත් නොවැළැක්විය හැකි ඝන අපද්‍රව්‍යවල mg / m3 වලින් ප්‍රකාශ වේ.