කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් (CF4)

තාක්ෂණික පරාමිතීන්

කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් යනු CF4 රසායනික සූත්‍රය සහිත හැලජනක හයිඩ්‍රොකාබනයකි. එය හැලජනක හයිඩ්‍රොකාබනයක්, හැලජනක මීතේන්, පර්ෆ්ලෝරෝකාබන් හෝ අකාබනික සංයෝගයක් ලෙස සැලකිය හැකිය. කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් යනු වර්ණ රහිත සහ ගන්ධ රහිත වායුවකි, ජලයේ දිය නොවන, බෙන්සීන් සහ ක්ලෝරෝෆෝම් වල ද්‍රාව්‍ය වේ. සාමාන්‍ය උෂ්ණත්වය සහ පීඩනය යටතේ ස්ථායී වන අතර, ශක්තිමත් ඔක්සිකාරක, දැවෙන හෝ දහනය කළ හැකි ද්‍රව්‍ය වලින් වළකින්න. දහනය කළ නොහැකි වායුව, අධික තාපයට නිරාවරණය වන විට කන්ටේනරයේ අභ්‍යන්තර පීඩනය වැඩි වන අතර, ඉරිතැලීම් සහ පිපිරීමේ අවදානමක් ඇත. එය රසායනිකව ස්ථායී සහ ගිනි නොගන්නා ය. කාමර උෂ්ණත්වයේ දී ක්‍රියා කළ හැක්කේ ද්‍රව ඇමෝනියා-සෝඩියම් ලෝහ ප්‍රතික්‍රියාකාරකයට පමණි. කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් යනු හරිතාගාර ආචරණය ඇති කරන වායුවකි. එය ඉතා ස්ථායී වන අතර, දිගු කාලයක් වායුගෝලයේ රැඳී සිටිය හැකි අතර, ඉතා බලවත් හරිතාගාර වායුවකි. කාබන් ටෙට්‍රාෆ්ලෝරයිඩ් විවිධ ඒකාබද්ධ පරිපථවල ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා වේ. එය ලේසර් වායුවක් ලෙසද භාවිතා කරන අතර, අධෝරක්ත අනාවරක සඳහා අඩු උෂ්ණත්ව ශීතකාරක, ද්‍රාවක, ලිහිසි තෙල්, පරිවාරක ද්‍රව්‍ය සහ සිසිලනකාරකවල භාවිතා වේ. ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ බහුලවම භාවිතා වන ප්ලාස්මා කැටයම් වායුව එයයි. එය ටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝමීතේන් අධි-පිරිසිදු වායුව සහ ටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝමීතේන් අධි-පිරිසිදු වායුව සහ අධි-පිරිසිදු ඔක්සිජන් මිශ්‍රණයකි. එය සිලිකන්, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ්, සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් සහ පොස්පොසිලිකේට් වීදුරු වල බහුලව භාවිතා කළ හැකිය. ටංස්ටන් සහ ටංස්ටන් වැනි තුනී පටල ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීම ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග මතුපිට පිරිසිදු කිරීම, සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය, ලේසර් තාක්ෂණය, අඩු උෂ්ණත්ව ශීතකරණය, කාන්දු පරීක්ෂාව සහ මුද්‍රිත පරිපථ නිෂ්පාදනයේ ඩිටර්ජන්ට් සඳහා ද බහුලව භාවිතා වේ. ඒකාබද්ධ පරිපථ සඳහා අඩු උෂ්ණත්ව ශීතකරණයක් සහ ප්ලාස්මා වියළි කැටයම් තාක්ෂණයක් ලෙස භාවිතා කරයි. ගබඩා කිරීම සඳහා පූර්වාරක්ෂාවන්: සිසිල්, වාතාශ්‍රය ඇති දහනය කළ නොහැකි වායු ගබඩාවක ගබඩා කරන්න. ගිනි හා තාප ප්‍රභවයන්ගෙන් ඈත්ව සිටින්න. ගබඩා උෂ්ණත්වය 30°C නොඉක්මවිය යුතුය. එය පහසුවෙන් (දහනය කළ හැකි) දහනය කළ හැකි ද්‍රව්‍ය සහ ඔක්සිකාරක වලින් වෙන වෙනම ගබඩා කළ යුතු අතර මිශ්‍ර ගබඩා කිරීමෙන් වළකින්න. ගබඩා ප්‍රදේශය කාන්දු වන හදිසි ප්‍රතිකාර උපකරණ වලින් සමන්විත විය යුතුය.

අයදුම්පත:

① ශීතකාරක:

ටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝමීතේන් සමහර විට අඩු උෂ්ණත්ව ශීතකාරකයක් ලෙස භාවිතා කරයි.

② කැටයම් කිරීම:

එය ඉලෙක්ට්‍රොනික ක්ෂුද්‍ර නිෂ්පාදනයේදී තනිවම හෝ ඔක්සිජන් සමඟ ඒකාබද්ධව සිලිකන්, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් සහ සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් සඳහා ප්ලාස්මා එචන්ට් එකක් ලෙස භාවිතා කරයි.

සාමාන්‍ය පැකේජය:

වාසිය:

①ඉහළ සංශුද්ධතාවය, නවතම පහසුකම;

②ISO සහතික නිෂ්පාදකයා;

③ වේගවත් බෙදාහැරීම;

④ සෑම පියවරකදීම තත්ත්ව පාලනය සඳහා මාර්ගගත විශ්ලේෂණ පද්ධතිය;

⑤පිරවීමට පෙර සිලින්ඩරය හැසිරවීම සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතාවයක් සහ සූක්ෂම ක්‍රියාවලියක්;