සිලේන්සිලිකන් සහ හයිඩ්‍රජන් සංයෝගයක් වන අතර එය සංයෝග මාලාවක් සඳහා සාමාන්‍ය යෙදුමකි. සිලේන් යනු ප්‍රධාන වශයෙන් මොනොසිලේන් (SiH4), ඩිසිලේන් (Si2H6) සහ SinH2n+2 යන සාමාන්‍ය සූත්‍රය සහිත සමහර ඉහළ මට්ටමේ සිලිකන් හයිඩ්‍රජන් සංයෝග ඇතුළත් වේ. කෙසේ වෙතත්, සැබෑ නිෂ්පාදනයේදී, අපි සාමාන්‍යයෙන් මොනොසිලේන් (රසායනික සූත්‍රය SiH4) "සිලේන්" ලෙස හඳුන්වමු.

ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියසිලේන් වායුවසිලිකන් කුඩු, හයිඩ්‍රජන්, සිලිකන් ටෙට්‍රාක්ලෝරයිඩ්, උත්ප්‍රේරක ආදිය විවිධ ප්‍රතික්‍රියා ආසවනය සහ පිරිසිදු කිරීම මගින් ප්‍රධාන වශයෙන් ලබා ගනී. 3N සිට 4N දක්වා සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලේන් කාර්මික ශ්‍රේණියේ සිලේන් ලෙසද, 6N ට වැඩි සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලේන් ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ සිලේන් වායුව ලෙසද හැඳින්වේ.

සිලිකන් සංරචක රැගෙන යාම සඳහා වායු ප්‍රභවයක් ලෙස,සිලේන් වායුවඑහි ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ සියුම් පාලනයක් ලබා ගැනීමේ හැකියාව නිසා වෙනත් බොහෝ සිලිකන් ප්‍රභවයන් මගින් ප්‍රතිස්ථාපනය කළ නොහැකි වැදගත් විශේෂ වායුවක් බවට පත්ව ඇත. මොනොසිලේන් පයිරොලිසිස් ප්‍රතික්‍රියාව හරහා ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් ජනනය කරයි, එය දැනට ලෝකයේ කැටිති මොනොක්‍රිස්ටලීන් සිලිකන් සහ බහු ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් මහා පරිමාණයෙන් නිෂ්පාදනය කිරීමේ ක්‍රමවලින් එකකි.

සිලේන් ලක්ෂණ

සිලේන් (SiH4)වාතය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර හුස්ම හිරවීමට හේතු වන අවර්ණ වායුවකි. එහි සමාන පදය සිලිකන් හයිඩ්‍රයිඩ් වේ. සිලේන් හි රසායනික සූත්‍රය SiH4 වන අතර එහි අන්තර්ගතය 99.99% තරම් ඉහළ ය. කාමර උෂ්ණත්වයේ සහ පීඩනයේ දී, සිලේන් යනු දුගඳ හමන විෂ සහිත වායුවකි. සිලේන්හි ද්‍රවාංකය -185℃ වන අතර තාපාංකය -112℃ වේ. කාමර උෂ්ණත්වයේ දී, සිලේන් ස්ථායී වේ, නමුත් 400℃ දක්වා රත් කළ විට, එය සම්පූර්ණයෙන්ම වායුමය සිලිකන් සහ හයිඩ්‍රජන් බවට දිරාපත් වේ. සිලේන් දැවෙන සහ පුපුරන සුළු වන අතර, එය වාතයේ හෝ හැලජන් වායුවේ පුපුරන සුලු ලෙස දැවී යනු ඇත.

යෙදුම් ක්ෂේත්‍ර

සිලේන් භාවිතයන් පුළුල් පරාසයක් ඇත. සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනයේදී සෛල මතුපිටට සිලිකන් අණු සම්බන්ධ කිරීමට වඩාත් ඵලදායී ක්‍රමය වීමට අමතරව, අර්ධ සන්නායක, පැතලි පැනල් සංදර්ශක සහ ආලේපිත වීදුරු වැනි නිෂ්පාදන කම්හල්වල ද එය බහුලව භාවිතා වේ.

සිලේන්අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ තනි ස්ඵටික සිලිකන්, බහු ස්ඵටික සිලිකන් එපිටැක්සියල් වේෆර්, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ්, සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් සහ ෆොස්ෆොසිලිකේට් වීදුරු වැනි රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සඳහා සිලිකන් ප්‍රභවය වන අතර සූර්ය කෝෂ, සිලිකන් කොපියර් ඩ්‍රම්, ප්‍රකාශ විද්‍යුත් සංවේදක, දෘශ්‍ය තන්තු සහ විශේෂ වීදුරු නිෂ්පාදනය සහ සංවර්ධනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.

මෑත වසරවලදී, සිලේන් වල අධි තාක්‍ෂණික යෙදුම් තවමත් මතුවෙමින් පවතින අතර, උසස් සෙරමික්, සංයුක්ත ද්‍රව්‍ය, ක්‍රියාකාරී ද්‍රව්‍ය, ජෛව ද්‍රව්‍ය, අධි ශක්ති ද්‍රව්‍ය ආදිය නිෂ්පාදනය කිරීම ඇතුළුව, බොහෝ නව තාක්ෂණයන්, නව ද්‍රව්‍ය සහ නව උපාංගවල පදනම බවට පත්වේ.