සිලේන්සිලිකන් සහ හයිඩ්‍රජන් සංයෝගයක් වන අතර එය සංයෝග මාලාවක් සඳහා පොදු යෙදුමකි. සිලේන් ප්‍රධාන වශයෙන් මොනොසිලේන් (SiH4), ඩිසිලේන් (Si2H6) සහ සාමාන්‍ය සූත්‍රය SinH2n+2 සමඟින් ඉහළ මට්ටමේ සිලිකන් හයිඩ්‍රජන් සංයෝග ඇතුළත් වේ. කෙසේ වෙතත්, සැබෑ නිෂ්පාදනයේදී, අපි සාමාන්‍යයෙන් මොනොසිලේන් (රසායනික සූත්‍රය SiH4) "silane" ලෙස හඳුන්වමු.

ඉලෙක්ට්රොනික ශ්රේණියේසිලේන් වායුවප්‍රධාන වශයෙන් සිලිකන් කුඩු, හයිඩ්‍රජන්, සිලිකන් ටෙට්‍රාක්ලෝරයිඩ්, උත්ප්‍රේරක යනාදිය විවිධ ප්‍රතික්‍රියා ආසවනය සහ පිරිසිදු කිරීම මගින් ලබා ගනී. 3N සිට 4N දක්වා සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලේන් කාර්මික ශ්‍රේණියේ සිලේන් ලෙසද 6N ට වැඩි සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලේන් ඉලෙක්ට්‍රොනික ලෙසද හැඳින්වේ. ශ්රේණියේ සිලේන් වායුව.

සිලිකන් සංරචක රැගෙන යාම සඳහා වායු ප්රභවයක් ලෙස,සිලේන් වායුවඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ සියුම් පාලනයක් ලබා ගැනීමේ හැකියාව නිසා වෙනත් බොහෝ සිලිකන් ප්‍රභවයන් මගින් ප්‍රතිස්ථාපනය කළ නොහැකි වැදගත් විශේෂ වායුවක් බවට පත් වී ඇත. මොනොසිලේන් පයිෙරොලිසිස් ප්‍රතික්‍රියාව හරහා ස්ඵටිකරූපී සිලිකන් ජනනය කරයි, එය දැනට ලෝකයේ කැටිති මොනොක්‍රිස්ටලීන් සිලිකන් සහ බහු ස්ඵටික සිලිකන් මහා පරිමාණයෙන් නිෂ්පාදනය කිරීමේ එක් ක්‍රමයකි.

සිලේන් ලක්ෂණ

සිලේන් (SiH4)අවර්ණ වායුවක් වන අතර එය වාතය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර හුස්ම හිරවීමට හේතු වේ. එහි සමාන පදය සිලිකන් හයිඩ්රයිඩ් වේ. සිලේන් වල රසායනික සූත්‍රය SiH4 වන අතර එහි අන්තර්ගතය 99.99% තරම් ඉහළ අගයක් ගනී. කාමර උෂ්ණත්වයේ සහ පීඩනයේ දී සිලේන් දුගඳ හමන විෂ වායුවකි. සිලේන් ද්‍රවාංකය -185℃ වන අතර තාපාංකය -112℃ වේ. කාමර උෂ්ණත්වයේ දී සිලේන් ස්ථායී වන නමුත් 400℃ දක්වා රත් කළ විට එය සම්පූර්ණයෙන්ම වායුමය සිලිකන් සහ හයිඩ්‍රජන් බවට දිරාපත් වේ. සිලේන් ගිනිගන්නාසුළු හා පුපුරන සුලු වන අතර එය වාතයේ හෝ හැලජන් වායුවේ පුපුරන සුලු ලෙස පුළුස්සා දමනු ඇත.

යෙදුම් ක්ෂේත්ර

Silane පුළුල් පරාසයක භාවිතයන් ඇත. සූර්ය කෝෂ නිපදවීමේදී සෛල මතුපිටට සිලිකන් අණු ඇමිණීමේ වඩාත් ඵලදායී ක්‍රමයට අමතරව, අර්ධ සන්නායක, පැතලි පුවරු සංදර්ශක සහ ආලේපිත වීදුරු වැනි නිෂ්පාදන කම්හල්වල ද එය බහුලව භාවිතා වේ.

සිලේන්අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ තනි ස්ඵටික සිලිකන්, බහු ස්ඵටික සිලිකන් epitaxial වේෆර්, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ්, සිලිකන් නයිට්රයිඩ් සහ ෆොස්ෆොසිලිකේට් වීදුරු වැනි රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලීන් සඳහා සිලිකන් මූලාශ්රය වන අතර, සූර්ය කෝෂ, සිලිකන් කොපියර් ඩ්රම් නිෂ්පාදනය සහ සංවර්ධනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. , ප්‍රකාශ විද්‍යුත් සංවේදක, දෘශ්‍ය තන්තු සහ විශේෂ වීදුරු.

මෑත වසරවලදී, උසස් සෙරමික්, සංයුක්ත ද්‍රව්‍ය, ක්‍රියාකාරී ද්‍රව්‍ය, ජෛව ද්‍රව්‍ය, අධි ශක්ති ද්‍රව්‍ය යනාදිය නිෂ්පාදනය කිරීම ඇතුළුව සිලේන් වල අධි තාක්‍ෂණික යෙදුම් තවමත් මතුවෙමින් පවතී, බොහෝ නව තාක්ෂණයන්, නව ද්‍රව්‍ය සහ නව පදනම බවට පත්වේ. උපාංග.