ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (WF6) CVD ක්‍රියාවලියක් හරහා වේෆරයේ මතුපිට තැන්පත් කර, ලෝහ අන්තර් සම්බන්ධතා අගල් පිරවීම සහ ස්ථර අතර ලෝහ අන්තර් සම්බන්ධතාවය සාදයි.
අපි මුලින්ම ප්ලාස්මා ගැන කතා කරමු. ප්ලාස්මා යනු ප්‍රධාන වශයෙන් නිදහස් ඉලෙක්ට්‍රෝන සහ ආරෝපිත අයන වලින් සමන්විත පදාර්ථ ආකාරයකි. එය විශ්වයේ බහුලව පවතින අතර බොහෝ විට පදාර්ථයේ සිව්වන තත්වය ලෙස සැලකේ. එය ප්ලාස්මා තත්වය ලෙස හැඳින්වේ, එය "ප්ලාස්මා" ලෙසද හැඳින්වේ. ප්ලාස්මා ඉහළ විද්යුත් සන්නායකතාවයක් ඇති අතර විද්යුත් චුම්භක ක්ෂේත්රය සමඟ ශක්තිමත් සම්බන්ධක බලපෑමක් ඇත. එය ඉලෙක්ට්‍රෝන, අයන, නිදහස් රැඩිකලුන්, උදාසීන අංශු සහ ෆෝටෝන වලින් සමන්විත අර්ධ වශයෙන් අයනීකෘත වායුවකි. ප්ලාස්මා යනු භෞතික හා රසායනිකව ක්‍රියාකාරී අංශු අඩංගු විද්යුත් උදාසීන මිශ්‍රණයකි.
සරල පැහැදිලි කිරීම නම්, අධි ශක්තියේ ක්රියාකාරිත්වය යටතේ, අණුව van der Waals බලය, රසායනික බන්ධන බලය සහ Coulomb බලය අභිබවා යන අතර, සමස්තයක් ලෙස උදාසීන විදුලියක ආකාරයක් ඉදිරිපත් කරයි. ඒ අතරම, පිටතින් ලබා දෙන අධි ශක්තිය ඉහත බලවේග තුන අභිබවා යයි. ශ්‍රිතය, ඉලෙක්ට්‍රෝන සහ අයන නිදහස් තත්වයක් ඉදිරිපත් කරයි, අර්ධ සන්නායක කැටයම් ක්රියාවලිය, CVD ක්රියාවලිය, PVD සහ IMP ක්රියාවලිය වැනි චුම්බක ක්ෂේත්‍රයක මොඩියුලේෂන් යටතේ කෘතිමව භාවිතා කළ හැක.
අධි ශක්තිය යනු කුමක්ද? න්යායාත්මකව, ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ ඉහළ සංඛ්යාත RF යන දෙකම භාවිතා කළ හැකිය. පොදුවේ ගත් කල, ඉහළ උෂ්ණත්වය ළඟා කර ගැනීම පාහේ කළ නොහැක්කකි. මෙම උෂ්ණත්ව අවශ්‍යතාවය ඉතා ඉහළ වන අතර හිරුගේ උෂ්ණත්වයට ආසන්න විය හැක. ක්රියාවලිය තුළ එය සාක්ෂාත් කර ගැනීම මූලික වශයෙන් කළ නොහැකි ය. එමනිසා, කර්මාන්තය සාමාන්යයෙන් එය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා අධි-සංඛ්යාත RF භාවිතා කරයි. ප්ලාස්මා RF 13MHz+ දක්වා ළඟා විය හැක.
ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් විද්යුත් ක්ෂේත්‍රයක ක්රියාකාරිත්වය යටතේ ප්ලාස්මීකරණය කර, පසුව චුම්බක ක්ෂේත්‍රයක් මගින් වාෂ්ප-තැන්පතු වේ. W පරමාණු ශීත පාත්ත පිහාටු වලට සමාන වන අතර ගුරුත්වාකර්ෂණ ක්රියාකාරිත්වය යටතේ බිමට වැටේ. සෙමින්, W පරමාණු සිදුරු හරහා තැන්පත් වන අතර අවසානයේ ලෝහ අන්තර් සම්බන්ධතා ඇති කිරීම සඳහා සිදුරු හරහා සම්පූර්ණයෙන් පුරවනු ලැබේ. සිදුරු හරහා W පරමාණු තැන්පත් කිරීමට අමතරව, ඒවා වේෆර් මතුපිට ද තැන්පත් වේවිද? ඔව්, අනිවාර්යයෙන්ම. සාමාන්යයෙන් කථා කිරීම, ඔබට W-CMP ක්රියාවලිය භාවිතා කළ හැකිය, එය ඉවත් කිරීම සඳහා අපි යාන්ත්රික ඇඹරුම් ක්රියාවලිය ලෙස හැඳින්වේ. එය අධික හිම පතනයෙන් පසු බිම අතුගා දැමීමට කොස්සක් භාවිතා කිරීම හා සමානයි. බිමෙහි හිම ගසාගෙන ගියත්, බිමෙහි සිදුරේ හිම පවතිනු ඇත. පහළ, දළ වශයෙන් සමාන වේ.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-24-2021
