ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (WF6) CVD ක්රියාවලියක් හරහා වේෆරයේ මතුපිට තැන්පත් කර, ලෝහ අන්තර් සම්බන්ධතා අගල් පුරවා, ස්ථර අතර ලෝහ අන්තර් සම්බන්ධතාවය සාදයි.
මුලින්ම ප්ලාස්මා ගැන කතා කරමු. ප්ලාස්මා යනු ප්රධාන වශයෙන් නිදහස් ඉලෙක්ට්රෝන සහ ආරෝපිත අයන වලින් සමන්විත පදාර්ථ ආකාරයකි. එය විශ්වයේ බහුලව පවතින අතර බොහෝ විට පදාර්ථයේ සිව්වන තත්වය ලෙස සැලකේ. එය ප්ලාස්මා තත්වය ලෙස හැඳින්වේ, එය "ප්ලාස්මා" ලෙසද හැඳින්වේ. ප්ලාස්මා ඉහළ විද්යුත් සන්නායකතාවයක් ඇති අතර විද්යුත් චුම්භක ක්ෂේත්රය සමඟ ශක්තිමත් බන්ධන බලපෑමක් ඇති කරයි. එය අර්ධ වශයෙන් අයනීකෘත වායුවක් වන අතර එය ඉලෙක්ට්රෝන, අයන, නිදහස් රැඩිකලුන්, උදාසීන අංශු සහ ෆෝටෝන වලින් සමන්විත වේ. ප්ලාස්මා යනු භෞතිකව හා රසායනිකව ක්රියාකාරී අංශු අඩංගු විද්යුත් වශයෙන් උදාසීන මිශ්රණයකි.
සරල පැහැදිලි කිරීමක් නම්, අධි ශක්ති ක්රියාකාරිත්වය යටතේ, අණුව වැන් ඩර් වෝල්ස් බලය, රසායනික බන්ධන බලය සහ කූලෝම් බලය ජය ගන්නා අතර සමස්තයක් ලෙස උදාසීන විදුලියක ආකාරයක් ඉදිරිපත් කරන බවයි. ඒ සමඟම, පිටතින් ලබා දෙන ඉහළ ශක්තිය ඉහත බල තුන අභිබවා යයි. ක්රියාකාරිත්වය, ඉලෙක්ට්රෝන සහ අයන නිදහස් තත්වයක් ඉදිරිපත් කරන අතර, අර්ධ සන්නායක කැටයම් ක්රියාවලිය, CVD ක්රියාවලිය, PVD සහ IMP ක්රියාවලිය වැනි චුම්බක ක්ෂේත්රයක මොඩියුලේෂන් යටතේ කෘතිමව භාවිතා කළ හැකිය.
ඉහළ ශක්තියක් යනු කුමක්ද? න්යායාත්මකව, ඉහළ උෂ්ණත්ව සහ ඉහළ සංඛ්යාත RF යන දෙකම භාවිතා කළ හැකිය. සාමාන්යයෙන් කිවහොත්, ඉහළ උෂ්ණත්වය ළඟා කර ගැනීම පාහේ කළ නොහැක්කකි. මෙම උෂ්ණත්ව අවශ්යතාවය ඉතා ඉහළ වන අතර සූර්යයාගේ උෂ්ණත්වයට ආසන්න විය හැකිය. ක්රියාවලියේදී එය සාක්ෂාත් කර ගැනීම මූලික වශයෙන් කළ නොහැක්කකි. එබැවින්, කර්මාන්තය සාමාන්යයෙන් එය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා ඉහළ සංඛ්යාත RF භාවිතා කරයි. ප්ලාස්මා RF 13MHz+ දක්වා ළඟා විය හැකිය.
ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් විද්යුත් ක්ෂේත්රයක ක්රියාකාරිත්වය යටතේ ප්ලාස්මාකරණය කර, පසුව චුම්භක ක්ෂේත්රයක් මගින් වාෂ්ප-තැන්පත් කරයි. W පරමාණු ශීත පාත්ත පිහාටු වලට සමාන වන අතර ගුරුත්වාකර්ෂණ ක්රියාකාරිත්වය යටතේ බිමට වැටේ. සෙමින්, W පරමාණු හරහා සිදුරු තුළට තැන්පත් කර, අවසානයේ සිදුරු හරහා පුරවා ලෝහ අන්තර් සම්බන්ධතා සාදයි. හරහා සිදුරු තුළ W පරමාණු තැන්පත් කිරීමට අමතරව, ඒවා වේෆරයේ මතුපිට ද තැන්පත් වේද? ඔව්, නිසැකවම. සාමාන්යයෙන් කිවහොත්, ඔබට W-CMP ක්රියාවලිය භාවිතා කළ හැකිය, එය ඉවත් කිරීම සඳහා අපි යාන්ත්රික ඇඹරුම් ක්රියාවලිය ලෙස හඳුන්වමු. එය අධික හිම පතනයෙන් පසු බිම අතුගා දැමීමට කොස්සක් භාවිතා කිරීමට සමානය. බිම හිම ගසාගෙන යයි, නමුත් බිම සිදුරේ හිම පවතිනු ඇත. පහළට, ආසන්න වශයෙන් එකම.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-24-2021
