ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ ගෘහස්ථ ආදේශන සැලැස්ම සර්ව සම්පූර්ණ ආකාරයකින් වේගවත් කර ඇත!

2018 දී, ඒකාබද්ධ පරිපථ සඳහා ගෝලීය ඉලෙක්ට්‍රොනික ගෑස් වෙළඳපොල ඇමරිකානු ඩොලර් බිලියන 4.512 දක්වා ළඟා වූ අතර එය වසරින් වසර 16% ක වැඩිවීමකි. අර්ධ සන්නායක සඳහා ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායු කර්මාන්තයේ ඉහළ වර්ධන වේගය සහ විශාල වෙළඳපල ප්‍රමාණය ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ ගෘහස්ථ ආදේශන සැලැස්ම වේගවත් කර ඇත!

ඉලෙක්ට්‍රෝන වායුව යනු කුමක්ද?

ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුව යනු අර්ධ සන්නායක, පැතලි පැනල් සංදර්ශක, ආලෝක විමෝචක ඩයෝඩ, සූර්ය කෝෂ සහ අනෙකුත් ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කරන මූලික මූලාශ්‍ර ද්‍රව්‍ය වන අතර පිරිසිදු කිරීම, කැටයම් කිරීම, චිත්‍රපට සෑදීම, මාත්‍රණය සහ වෙනත් ක්‍රියාවලීන් සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුවේ ප්‍රධාන යෙදුම් ක්ෂේත්‍ර අතර ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තය, සූර්ය කෝෂ, ජංගම සන්නිවේදනය, මෝටර් රථ සංචලනය සහ කාර් ශ්‍රව්‍ය සහ දෘශ්‍ය පද්ධති, අභ්‍යවකාශය, හමුදා කර්මාන්තය සහ තවත් බොහෝ ක්ෂේත්‍ර ඇතුළත් වේ.

ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුව එහි රසායනික සංයුතිය අනුව කාණ්ඩ හතකට බෙදිය හැකිය: සිලිකන්, ආසනික්, පොස්පරස්, බෝරෝන්, ලෝහ හයිඩ්‍රයිඩ්, හේලයිඩ් සහ ලෝහ ඇල්කොක්සයිඩ්. ඒකාබද්ධ පරිපථවල විවිධ යෙදුම් ක්‍රමවලට අනුව, එය මාත්‍රණ වායුව, එපිටැක්සි වායුව, අයන තැන්පත් කිරීමේ වායුව, ආලෝක විමෝචක ඩයෝඩ වායුව, එචිං වායුව, රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වායුව සහ සමතුලිත වායුව ලෙස බෙදිය හැකිය. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ භාවිතා වන විශේෂ වායු ඒකක 110 කට වඩා වැඩි ප්‍රමාණයක් ඇති අතර ඒවායින් 30 කට වඩා බහුලව භාවිතා වේ.

සාමාන්‍යයෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තය වායූන් වර්ග දෙකකට බෙදා ඇත: පොදු වායු සහ විශේෂ වායු. ඒවා අතර බහුලව භාවිතා වන වායුව මධ්‍යගත සැපයුමක් වන අතර N2, H2, O2, Ar, He, ආදී වායු විශාල ප්‍රමාණයක් භාවිතා කරයි. විශේෂ වායුව අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන සමහර රසායනික වායූන් වේ. දිගු කිරීම, අයන එන්නත් කිරීම, මිශ්‍ර කිරීම, සේදීම සහ වෙස් මුහුණු සෑදීම, එය අපි දැන් අධි-පිරිසිදු SiH4, PH3, AsH3, B2H6 වැනි ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුව ලෙස හඳුන්වමු. N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, ආදිය.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සමස්ත නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, චිප් වර්ධනයේ සිට අවසාන උපාංග ඇසුරුම් දක්වා, සෑම සම්බන්ධකයක්ම පාහේ ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවෙන් වෙන් කළ නොහැකි වන අතර, භාවිතා කරන විවිධ වායු සහ උසස් තත්ත්වයේ අවශ්‍යතා නිසා ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුවේ අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය ඇත. "ආහාර".

මෑත වසරවලදී, අර්ධ සන්නායක සහ සංදර්ශක පැනල් වැනි චීනයේ ප්‍රධාන ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නව නිෂ්පාදන ධාරිතාවයෙන් වැඩි වී ඇති අතර ඉලෙක්ට්‍රොනික රසායනික ද්‍රව්‍ය ආදේශ කිරීම සඳහා දැඩි ඉල්ලුමක් පවතී. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුවල පිහිටීම වඩ වඩාත් ප්‍රමුඛ වී ඇත. ගෘහස්ථ ඉලෙක්ට්‍රොනික ගෑස් කර්මාන්තය වේගවත් වර්ධනයක් කරා ගෙන යනු ඇත.

ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුව සංශුද්ධතාවය සඳහා ඉතා ඉහළ අවශ්‍යතා ඇත, මන්ද සංශුද්ධතාවය අවශ්‍යතාවයට නොගැලපේ නම්, ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ ඇති ජල වාෂ්ප සහ ඔක්සිජන් වැනි අපිරිසිදු කණ්ඩායම් පහසුවෙන් අර්ධ සන්නායකයේ මතුපිට ඔක්සයිඩ් පටල සාදයි. ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවල සේවා කාලය, සහ ඉලෙක්ට්රොනික විශේෂ වායුව අඩංගු අපද්රව්ය අංශු අර්ධ සන්නායක කෙටි පරිපථ සහ පරිපථ හානි ඇති විය හැක. විද්‍යුත් උපාංග නිෂ්පාදනයේ අස්වැන්න සහ කාර්ය සාධනය සඳහා සංශුද්ධතාවය වැඩිදියුණු කිරීම වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරන බව පැවසිය හැකිය.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ අඛණ්ඩ වර්ධනයත් සමඟ චිප් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය අඛණ්ඩව වැඩිදියුණු වන අතර දැන් එය 5nm දක්වා ළඟා වී ඇති අතර එය මුවර්ගේ නීතියේ සීමාවට ළඟා වීමට ආසන්න වන අතර එය මිනිස් හිසකෙස් විෂ්කම්භයෙන් විසිවෙන් එකකට සමාන වේ ( 0.1 mm පමණ). එබැවින්, මෙය අර්ධ සන්නායක මගින් නිපදවන ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ සංශුද්ධතාවය පිළිබඳ ඉහළ අවශ්‍යතා ද ඉදිරිපත් කරයි.