ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ ගෑස් සඳහා ගෘහස්ථ ආදේශන සැලැස්ම සර්ව සම්පූර්ණ ආකාරයකින් වේගවත් කර ඇත!

2018 දී, ඒකාබද්ධ පරිපථ සඳහා වන ගෝලීය ඉලෙක්ට්‍රොනික ගෑස් වෙළඳපොළ ඇමරිකානු ඩොලර් බිලියන 4.512 දක්වා ළඟා වූ අතර එය වසරින් වසර 16% ක වැඩිවීමකි. අර්ධ සන්නායක සඳහා ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ ගෑස් කර්මාන්තයේ ඉහළ වර්ධන වේගය සහ දැවැන්ත වෙළඳපල ප්‍රමාණය ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ ගෑස් දේශීය ආදේශන සැලැස්ම වේගවත් කර ඇත!

ඉලෙක්ට්‍රෝන වායුව යනු කුමක්ද?

ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුව යනු අර්ධ සන්නායක, පැතලි පැනල් සංදර්ශක, ආලෝක විමෝචක ඩයෝඩ, සූර්ය කෝෂ සහ අනෙකුත් ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කරන මූලික ප්‍රභව ද්‍රව්‍ය වන අතර පිරිසිදු කිරීම, කැටයම් කිරීම, පටල සෑදීම, මාත්‍රණය කිරීම සහ අනෙකුත් ක්‍රියාවලීන් සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුවේ ප්‍රධාන යෙදුම් ක්ෂේත්‍ර අතරට ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තය, සූර්ය කෝෂ, ජංගම සන්නිවේදනය, මෝටර් රථ සංචාලනය සහ මෝටර් රථ ශ්‍රව්‍ය සහ දෘශ්‍ය පද්ධති, අභ්‍යවකාශය, හමුදා කර්මාන්තය සහ තවත් බොහෝ ක්ෂේත්‍ර ඇතුළත් වේ.

ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුව එහිම රසායනික සංයුතිය අනුව කාණ්ඩ හතකට බෙදිය හැකිය: සිලිකන්, ආසනික්, පොස්පරස්, බෝරෝන්, ලෝහ හයිඩ්‍රයිඩ්, හේලයිඩ් සහ ලෝහ ඇල්කොක්සයිඩ්. ඒකාබද්ධ පරිපථවල විවිධ යෙදුම් ක්‍රමවලට අනුව, එය මාත්‍රණ වායුව, එපිටැක්සි වායුව, අයන බද්ධ කිරීමේ වායුව, ආලෝක විමෝචක ඩයෝඩ වායුව, කැටයම් වායුව, රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ වායුව සහ සමතුලිත වායුව ලෙස බෙදිය හැකිය. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ඒකක 110 කට වඩා භාවිතා කරන විශේෂ වායු ඇති අතර, ඉන් 30 කට වඩා බහුලව භාවිතා වේ.

සාමාන්‍යයෙන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තය වායූන් වර්ග දෙකකට බෙදා ඇත: පොදු වායු සහ විශේෂ වායු. ඒවා අතර, බහුලව භාවිතා වන වායුව මධ්‍යගත සැපයුමක් ගැන සඳහන් කරන අතර N2, H2, O2, Ar, He, වැනි වායු විශාල ප්‍රමාණයක් භාවිතා කරයි. විශේෂ වායුව යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන දිගුව, අයන එන්නත් කිරීම, මිශ්‍ර කිරීම, සේදීම සහ ආවරණ සෑදීම වැනි සමහර රසායනික වායූන් ගැන ය, එය අපි දැන් ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුව ලෙස හඳුන්වනු ලැබේ, එනම් අධි සංශුද්ධතාවය සහිත SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, ආදිය.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සමස්ත නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, චිප් වර්ධනයේ සිට අවසාන උපාංග ඇසුරුම් කිරීම දක්වා, සෑම සබැඳියක්ම පාහේ ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවෙන් වෙන් කළ නොහැකි අතර, භාවිතා කරන වායුවේ විවිධත්වය සහ උසස් තත්ත්වයේ අවශ්‍යතා නිසා ඉලෙක්ට්‍රොනික වායුවේ අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය ඇත. "ආහාර".

මෑත වසරවලදී, චීනයේ ප්‍රධාන ඉලෙක්ට්‍රොනික සංරචක වන අර්ධ සන්නායක සහ සංදර්ශක පැනල් නව නිෂ්පාදන ධාරිතාවයෙන් වැඩි වී ඇති අතර, ඉලෙක්ට්‍රොනික රසායනික ද්‍රව්‍ය ආනයන ආදේශ කිරීම සඳහා දැඩි ඉල්ලුමක් පවතී. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ඉලෙක්ට්‍රොනික වායූන්ගේ ස්ථානය වඩ වඩාත් ප්‍රමුඛ වී ඇත. දේශීය ඉලෙක්ට්‍රොනික ගෑස් කර්මාන්තය වේගවත් වර්ධනයක් ඇති කරනු ඇත.

ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ සංශුද්ධතාවය සඳහා ඉතා ඉහළ අවශ්‍යතා ඇත, මන්ද සංශුද්ධතාවය අවශ්‍යතා සපුරා නොමැති නම්, ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ ඇති ජල වාෂ්ප සහ ඔක්සිජන් වැනි අපිරිසිදු කාණ්ඩ අර්ධ සන්නායකයේ මතුපිට ඔක්සයිඩ් පටලයක් පහසුවෙන් සාදනු ඇත, එය ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංගවල සේවා කාලයට බලපායි, සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ අඩංගු අපද්‍රව්‍ය අංශු අර්ධ සන්නායක කෙටි පරිපථ සහ පරිපථ හානි ඇති කළ හැකිය. ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදනයේ අස්වැන්න සහ ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා සංශුද්ධතාවය වැඩිදියුණු කිරීම වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරන බව පැවසිය හැකිය.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ අඛණ්ඩ සංවර්ධනයත් සමඟ, චිප් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය අඛණ්ඩව වැඩිදියුණු වන අතර, දැන් එය 5nm දක්වා ළඟා වී ඇති අතර, එය මිනිස් හිසකෙස් විෂ්කම්භයෙන් විසියෙන් එකකට (මි.මී. 0.1 ක් පමණ) සමාන වන මුවර්ගේ නියමයේ සීමාවට ළඟා වීමට ආසන්නයි. එබැවින්, අර්ධ සන්නායක මගින් නිපදවන ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂ වායුවේ සංශුද්ධතාවය සඳහා මෙය ඉහළ අවශ්‍යතා ද ඉදිරිපත් කරයි.