හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ්යනු තියුණු ගන්ධයක් සහිත අවර්ණ වායුවකි. එහි ජලීය ද්‍රාවණය හයිඩ්‍රොක්ලෝරික් අම්ලය ලෙසද හඳුන්වනු ලබන අතර එය හයිඩ්‍රොක්ලෝරික් අම්ලය ලෙසද හැඳින්වේ. හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ් ජලයේ ඉතා ද්‍රාව්‍ය වේ. 0°C දී, ජල පරිමාව 1කට හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ් වෙළුම් 500ක් පමණ විසුරුවා හැරිය හැක.

එයට පහත ගුණාංග සහ ලක්ෂණ ඇත:

1. ඉහළ සංශුද්ධතාවය

ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ සංශුද්ධතාවයහයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ්අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියට කිසිදු අපද්‍රව්‍යයක් හඳුන්වා නොදෙන බව සහතික කිරීම සඳහා, ඉතා ඉහළ අගයක්, සාමාන්‍යයෙන් ppm හෝ ඊට පහළ මට්ටමක පවතී.

2. අවස්ථිති බව

එය රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීය වායුවක් වන අතර එය වෙනත් බොහෝ ද්‍රව්‍ය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා නොකරන අතර අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය හා උපකරණ දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.

3. ඉහළ ස්ථායිතාව

ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියහයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ්විශ්වාසදායක අර්ධ සන්නායක සැකසුම් සහතික කිරීම සඳහා සාමාන්‍යයෙන් ස්ථාවර රසායන විද්‍යාවක් ඇත.

අර්ධ සන්නායක සැකසුම් වලදී, ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ් වල ප්‍රධාන යෙදුම් අතරට:

1. මතුපිට පිරිසිදු කිරීම සහ සකස් කිරීම

කාර්යක්ෂම මතුපිට පිරිසිදු කරන්නෙකු ලෙස, ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේහයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ්එපිටැක්සියල් ස්ථරයේ හෝ පටලයේ ගුණාත්මකභාවය සහ සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම සඳහා උපස්ථර මතුපිටින් ඔක්සයිඩ සහ අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමට භාවිතා කරයි.

2.එපිටැක්සියල් වර්ධන ආධාරය

එපිටැක්සියල් ක්‍රියාවලියේදී මතුපිට ප්‍රතිකාර කාරකයක් ලෙස භාවිතා කරන අතර, එය එපිටැක්සියල් ස්ථරයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීමට, දැලිස් ගැලපීම වැඩි දියුණු කිරීමට සහ දැලිස් දෝෂ ඇතිවීම අඩු කිරීමට උපකාරී වේ.

3. උපස්ථර පූර්ව ප්‍රතිකාරය

අර්ධ සන්නායක උපාංග සකස් කිරීමට පෙර, ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියහයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ්එපිටැක්සියල් ස්ථරය සහ උපස්ථරය අතර ඇලීම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ස්ථායී පදනමක් සෑදීමට උපස්ථර මතුපිටට ප්‍රතිකාර කිරීමට භාවිතා කළ හැක.

4. තැන්පතු සහායක කාරකය

රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) හෝ භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (PVD) ක්‍රියාවලියේදී, අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය තැන්පත් කිරීමේ ප්‍රතික්‍රියාවට සහභාගී වීම සඳහා ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ් වායු අවධි හුවමාරු මාධ්‍යයක් ලෙස භාවිතා කළ හැකිය.

5. වායු-අදියර මාරු කිරීමේ කාරකය

වායු-අදියර හුවමාරු කාරකයක් ලෙස, ද්‍රව්‍යයේ තැන්පත් වීමේ අනුපාතය සහ ඒකාකාරිත්වය සකස් කිරීමට උපකාරී වන පරිදි අනෙකුත් වායුමය පූර්වගාමීන් ප්‍රතික්‍රියා කුටියට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ.

මෙම ලක්ෂණ ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණිය සාදයිහයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ්අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණයේ වැදගත් සැකසුම් කාරකයක් වන අතර එය අවසාන උපාංගයේ ක්‍රියාකාරිත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය කෙරෙහි ප්‍රධාන බලපෑමක් ඇති කරයි.

අර්ධ සන්නායක සැකසුම් සඳහා එහි භාවිතයට අමතරව, ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියේ හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ් අනෙකුත් ක්ෂේත්‍රවල විවිධ භාවිතයන් සොයා ගත හැකිය, ඒවා අතර: ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ද්‍රව්‍ය සකස් කිරීම, ඉන්ධන සෛල, අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය වර්ධනය, වාෂ්ප අදියර ලිතෝග්‍රැෆි, ද්‍රව්‍ය විශ්ලේෂණය, රසායනික පර්යේෂණ.

සාමාන්‍යයෙන්, ඉලෙක්ට්‍රොනික ශ්‍රේණියහයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ්අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයෙන් පිටත පුළුල් පරාසයක යෙදීම් ඇති බහුකාර්ය, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායුවකි.