ලේසර් වායුව

ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ ලේසර් ඇනීලිං සහ ලිතෝග්‍රැෆි වායුව සඳහා ලේසර් වායුව ප්‍රධාන වශයෙන් භාවිතා වේ. ජංගම දුරකථන තිරවල නවෝත්පාදනයෙන් සහ යෙදුම් ක්ෂේත්‍ර පුළුල් වීමෙන් ප්‍රතිලාභ ලබන අඩු උෂ්ණත්ව පොලිසිලිකන් වෙළඳපොළේ පරිමාණය තවදුරටත් පුළුල් වන අතර, ලේසර් ඇනීලිං ක්‍රියාවලිය TFT වල ක්‍රියාකාරිත්වය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු කර ඇත. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා ArF එක්සයිමර් ලේසර් වල භාවිතා වන නියොන්, ෆ්ලෝරීන් සහ ආගන් වායු අතර, ලේසර් වායු මිශ්‍රණයෙන් 96% කට වඩා වැඩි ප්‍රමාණයක් නියොන් වේ. අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණය පිරිපහදු කිරීමත් සමඟ, එක්සයිමර් ලේසර් භාවිතය වැඩි වී ඇති අතර, ද්විත්ව නිරාවරණ තාක්‍ෂණය හඳුන්වාදීම ArF එක්සයිමර් ලේසර් මගින් පරිභෝජනය කරන නියොන් වායුව සඳහා ඇති ඉල්ලුමේ තියුණු වැඩිවීමකට හේතු වී තිබේ. ඉලෙක්ට්‍රොනික විශේෂිත වායු ප්‍රාදේශීයකරණය ප්‍රවර්ධනය කිරීමෙන් ප්‍රතිලාභ ලබන දේශීය නිෂ්පාදකයින්ට අනාගතයේදී වඩා හොඳ වෙළඳපල වර්ධන අවකාශයක් ලැබෙනු ඇත.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ මූලික උපකරණය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයයි. ට්‍රාන්සිස්ටරවල ප්‍රමාණය ලිතෝග්‍රැෆි මගින් නිර්වචනය කෙරේ. ලිතෝග්‍රැෆි කර්මාන්ත දාමයේ සම්බන්ධීකරණ සංවර්ධනය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ඉදිරි ගමනට යතුරයි. ෆොටෝරෙසිස්ට්, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි වායුව, ෆොටෝමාස්ක් සහ ආලේපන සහ සංවර්ධනය කිරීමේ උපකරණ වැනි ගැලපෙන අර්ධ සන්නායක ද්‍රව්‍ය ඉහළ තාක්ෂණික අන්තර්ගතයක් ඇත. ලිතෝග්‍රැෆි වායුව යනු ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය ගැඹුරු පාරජම්බුල ලේසර් ජනනය කරන වායුවයි. විවිධ ලිතෝග්‍රැෆි වායුවලට විවිධ තරංග ආයාමවල ආලෝක ප්‍රභවයන් නිපදවිය හැකි අතර, ඒවායේ තරංග ආයාමය ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ හරයන්ගෙන් එකක් වන ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ විභේදනයට සෘජුවම බලපායි. 2020 දී, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල මුළු ගෝලීය විකුණුම් ඒකක 413 ක් වනු ඇති අතර, එයින් ASML විකුණුම් ඒකක 258 ක්, කැනන් විකුණුම් ඒකක 122 ක් 30% ක් සහ නිකොන් විකුණුම් ඒකක 33 ක් 8% ක් විය.