බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ් (BCl3)අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වියළි කැටයම් සහ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) ක්‍රියාවලීන්හි බහුලව භාවිතා වන අකාබනික සංයෝගයකි. එය කාමර උෂ්ණත්වයේ දී දැඩි තියුණු ගන්ධයක් සහිත අවර්ණ වායුවක් වන අතර එය හයිඩ්‍රොක්ලෝරික් අම්ලය සහ බෝරික් අම්ලය නිපදවීමට ජල විච්ඡේදනය වන බැවින් තෙතමනය සහිත වාතයට සංවේදී වේ.
බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ් යෙදීම්
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ,බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ්ප්‍රධාන වශයෙන් ඇලුමිනියම් වියළි කැටයම් කිරීම සඳහා සහ සිලිකන් වේෆර් මත P-වර්ගයේ කලාප සෑදීම සඳහා මාත්‍රකයක් ලෙස භාවිතා කරයි. එය GaAs, Si, AlN වැනි ද්‍රව්‍ය කැටයම් කිරීමට සහ ඇතැම් විශේෂිත යෙදුම්වල බෝරෝන් ප්‍රභවයක් ලෙසද භාවිතා කළ හැකිය. මීට අමතරව, බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ් ලෝහ සැකසුම්, වීදුරු කර්මාන්තය, රසායනික විශ්ලේෂණය සහ රසායනාගාර පර්යේෂණ සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.
බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ් වල ආරක්ෂාව
බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ්විඛාදනයට ලක්වන සහ විෂ සහිත වන අතර ඇස් සහ සමට බරපතල හානි සිදු කළ හැකිය. එය තෙතමනය සහිත වාතයේ ජල විච්ඡේදනය වී විෂ සහිත හයිඩ්‍රජන් ක්ලෝරයිඩ් වායුව නිකුත් කරයි. එබැවින්, හැසිරවීමේදී සුදුසු ආරක්ෂක පියවර ගත යුතුය.බෝරෝන් ට්‍රයික්ලෝරයිඩ්ආරක්ෂිත ඇඳුම්, ඇස් කණ්ණාඩි සහ ශ්වසන ආරක්ෂණ උපකරණ පැළඳීම සහ හොඳින් වාතාශ්‍රය ඇති පරිසරයක ක්‍රියාත්මක වීම ඇතුළුව.
පළ කළ කාලය: ජනවාරි-17-2025
