අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය (UHP) වායු අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ජීවනාලිය වේ. ගෝලීය සැපයුම් දාමයන්ට ඇති පෙර නොවූ විරූ ඉල්ලුම සහ බාධා හේතුවෙන් අතිශය ඉහළ පීඩන වායුවේ මිල ඉහළ යන බැවින්, නව අර්ධ සන්නායක සැලසුම් සහ නිෂ්පාදන පිළිවෙත් අවශ්‍ය දූෂණ පාලන මට්ටම වැඩි කරයි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා, UHP වායුවේ සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීමට හැකිවීම කවරදාටත් වඩා වැදගත් වේ.

නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී අතිශය අධි සංශුද්ධතා (UHP) වායූන් අතිශයින්ම වැදගත් වේ.

UHP වායුවේ ප්‍රධාන යෙදීම්වලින් එකක් වන්නේ නිෂ්ක්‍රීයකරණයයි: අර්ධ සන්නායක සංරචක වටා ආරක්ෂිත වායුගෝලයක් සැපයීමට UHP වායුව භාවිතා කරන අතර එමඟින් වායුගෝලයේ තෙතමනය, ඔක්සිජන් සහ අනෙකුත් දූෂකවල හානිකර බලපෑම් වලින් ඒවා ආරක්ෂා කරයි. කෙසේ වෙතත්, නිෂ්ක්‍රීයකරණය යනු අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වායූන් ඉටු කරන බොහෝ වෙනස් කාර්යයන්ගෙන් එකක් පමණි. ප්‍රාථමික ප්ලාස්මා වායුවල සිට කැටයම් කිරීම සහ ඇනීලිං සඳහා භාවිතා කරන ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායූන් දක්වා, අතිශය අධි පීඩන වායු විවිධ අරමුණු සඳහා භාවිතා කරන අතර අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමය පුරා අත්‍යවශ්‍ය වේ.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ඇති "මූලික" වායු සමහරක් අතරටනයිට්‍රජන්(සාමාන්‍ය පිරිසිදු කිරීමේ සහ නිෂ්ක්‍රීය වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි),ආගන්(කැටයම් කිරීමේ සහ තැන්පත් කිරීමේ ප්‍රතික්‍රියා වලදී ප්‍රාථමික ප්ලාස්මා වායුව ලෙස භාවිතා කරයි),හීලියම්(විශේෂ තාප හුවමාරු ගුණ සහිත නිෂ්ක්‍රීය වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි) සහහයිඩ්‍රජන්(ඇනීලිං, තැන්පත් කිරීම, එපිටැක්සි සහ ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීමේදී බහුවිධ කාර්යභාරයන් ඉටු කරයි).

අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණය පරිණාමය වී වෙනස් වී ඇති හෙයින්, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන වායූන් ද වෙනස් වී ඇත. අද වන විට අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හල් උච්ච වායුවල සිට පුළුල් පරාසයක වායු භාවිතා කරයි, එනම්ක්‍රිප්ටෝන්සහනියොන්නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF 3) සහ ටංස්ටන් හෙක්සාෆ්ලෝරයිඩ් (WF 6) වැනි ප්‍රතික්‍රියාශීලී විශේෂවලට.

පිරිසිදුකම සඳහා ඇති ඉල්ලුම වැඩි වීම

පළමු වාණිජ මයික්‍රොචිපය සොයා ගැනීමෙන් පසු, අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ක්‍රියාකාරිත්වයේ විශ්මයජනක ආසන්න ඝාතීය වැඩිවීමක් ලෝකය දැක තිබේ. පසුගිය වසර පහ තුළ, මෙවැනි කාර්ය සාධන වැඩිදියුණු කිරීමක් ලබා ගැනීමට ඇති ස්ථිරම ක්‍රමවලින් එකක් වූයේ “ප්‍රමාණ පරිමාණය” හරහා ය: දී ඇති අවකාශයකට වැඩි ට්‍රාන්සිස්ටර මිරිකා ගැනීම සඳහා පවතින චිප් ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පයේ ප්‍රධාන මානයන් අඩු කිරීමයි. මීට අමතරව, නව චිප් ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය සංවර්ධනය කිරීම සහ අති නවීන ද්‍රව්‍ය භාවිතය උපාංග ක්‍රියාකාරිත්වයේ පිම්මක් ඇති කර තිබේ.

අද වන විට, අති නවීන අර්ධ සන්නායකවල තීරණාත්මක මානයන් ඉතා කුඩා බැවින් ප්‍රමාණය පරිමාණය කිරීම උපාංග ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා තවදුරටත් ශක්‍ය ක්‍රමයක් නොවේ. ඒ වෙනුවට, අර්ධ සන්නායක පර්යේෂකයන් නව ද්‍රව්‍ය සහ 3D චිප ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පයේ ස්වරූපයෙන් විසඳුම් සොයමින් සිටිති.

දශක ගණනාවක වෙහෙස නොබලා නැවත සැලසුම් කිරීම යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ අද අර්ධ සන්නායක උපාංග පැරණි මයික්‍රොචිප් වලට වඩා බෙහෙවින් බලවත් බවයි - නමුත් ඒවා වඩාත් බිඳෙන සුළුය. 300mm වේෆර් නිෂ්පාදන තාක්ෂණයේ පැමිණීම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අවශ්‍ය අපිරිසිදු පාලන මට්ටම වැඩි කර ඇත. නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියක සුළු දූෂණයක් පවා (විශේෂයෙන් දුර්ලභ හෝ නිෂ්ක්‍රීය වායූන්) ව්‍යසනකාරී උපකරණ අසාර්ථක වීමට හේතු විය හැක - එබැවින් වායු සංශුද්ධතාවය දැන් කවරදාටත් වඩා වැදගත් වේ.

සාමාන්‍ය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හලක් සඳහා, අතිශය අධි-සංශුද්ධතා වායුව දැනටමත් සිලිකන් වලට පසු විශාලතම ද්‍රව්‍යමය වියදමයි. අර්ධ සන්නායක සඳහා ඇති ඉල්ලුම නව උසකට ඉහළ යන විට මෙම පිරිවැය වැඩි වනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ. යුරෝපයේ සිදුවීම් ආතති සහගත අතිශය අධි පීඩන ස්වාභාවික වායු වෙළඳපොළට අමතර බාධාවක් ඇති කර තිබේ. යුක්රේනය ලොව විශාලතම අධි-සංශුද්ධතා අපනයනකරුවන්ගෙන් එකකි.නියොන්සංඥා; රුසියාවේ ආක්‍රමණය යන්නෙන් අදහස් වන්නේ දුර්ලභ වායු සැපයුම සීමා වෙමින් පවතින බවයි. මෙය අනෙක් අතට අනෙකුත් උච්ච වායු හිඟයන්ට සහ මිල ඉහළ යාමට හේතු විය.ක්‍රිප්ටෝන්සහසෙනෝන්.