අතිශය ඉහළ පාරිශුද්ධත්වය (යූඑච්පී) වායූන් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ජීව රුධිරයයි. ගෝලීය සැපයුම් දාමයන්ට පෙර නොවූ විරූ ඉල්ලුමක් හා බාධා කිරීම් ලෙස අතිශයින්ම අධි පීඩන වායුව, නව අර්ධ සන්නායක සැලසුම් කිරීම සහ නිෂ්පාදන භාවිතයන් අවශ්ය වන පරිසර සන්නායක සැලසුම් කිරීම සහ නිෂ්පාදන පිළිවෙත් අවශ්ය වේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා, වෙන කවරදාටත් වඩා UHP වායුවේ සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම සඳහා හැකි වීම.

නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ අල්ට්රා ඉහළ පාරිශුද්ධත්වය (යූඑච්පී) වායූන් සම්පූර්ණයෙන්ම තීරණාත්මක ය

යූඑච්පී වායුව පිළිබඳ ප්රධාන යෙදුම් වලින් එකක්: අර්ධ සන්නායක සංරචක වටා ආරක්ෂිත වායුගෝලයක් සැපයීම සඳහා, එමඟින් අර්ධ සන්නායක සංරචක වටා ආරක්ෂිත වායුගෝලයක් සපයන අතර එමඟින් වායුගෝලයේ තෙතමනය, ඔක්සිජන් සහ වෙනත් අපවිත්ර ක්රමවල හානිකර බලපෑම් වලින් ආරක්ෂා වේ. කෙසේ වෙතත්, අතපසුවීම අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වායු ගත හැකි විවිධ කාර්යයන්ගෙන් එකකි. ප්රාථමික ප්ලාස්මා වායූන් එච්චාරණ සහ ඇනීම සඳහා භාවිතා කරන ප්රතික්රියාශීලී වායූන් වලින්, අතිශයින්ම අධි පීඩන වායූන් විවිධ අරමුණු සඳහා භාවිතා කරන අතර අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමය පුරා අත්යවශ්ය වේ.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සමහර "හරය" වායූන් අතර ඇතුළත් වේනයිට්රජන්(සාමාන්ය පිරිසිදු කිරීම හා නිෂ්ක්රීය වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි),ආගන්(එතිච් සහ තැන්පත් කිරීමේ ප්රතික්රියා වල ප්රාථමික ප්ලාස්මා ගෑස් ලෙස භාවිතා කරයි),හීලියම්(විශේෂ තාප හුවමාරුවේ ස්ථාන සහිත නිෂ්ක්රීය වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි) සහහයිඩ්රජන්(ඇනෙලිං, තැන්පත් කිරීම, එපිටෙක්ස් සහ ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීමේදී බහු කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි).

අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණය පරිණාමය වී වෙනස් කර ඇති බැවින්, නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී භාවිතා වන වායූන් දරන්න. අද, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හල් වැනි උතුම් වායූන්ගෙන් පුළුල් පරාසයක වායූන් භාවිතා කරයික්රිප්ටෝන්සහනියොන්නයිට්රජන් ට්රයිෆ්ලෝරයිඩ් (එන්එෆ් 3) සහ ටංස්ටන් හෙක්සෆ්ලෝයිඩ් (WF 6) වැනි ප්රතික්රියාශීලී විශේෂ වෙත.

පාරිශුද්ධභාවය සඳහා ඉල්ලුම වැඩීම

පළමු වාණිජ මයික්රොචිපොප් සොයාගත් දා සිට, අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ක්රියාකාරිත්වය තුළ on ාතීය on ාතීය වැඩි වීමක් ලෝකය විශ්මය ජනක ලෙස දැක තිබේ. පසුගිය වසර පහ තුළ, මෙවැනි කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වූ ස්ථිරම ක්රමයක් වන්නේ "ප්රමාණය පරිමාණ පරිමාණය" හරහා ය: වැඩි පරිස්සිස් සංචිතයේ ප්රධාන මානයන් "දී ඇති අවකාශයකට මිරිකා ගැනීම සඳහා අඩු කිරීම. මීට අමතරව, නව චිප ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පීන් සංවර්ධනය කිරීම සහ නවීන ද්රව්ය භාවිතය භාවිතා කර ඇති අතර උපාංග කාර්ය සාධනය තුළ බිම් කැබැල්ලක් නිපදවා ඇත.

අද, කැපුම් අද්දර අර්ධ සන්නායකවල විවේචනාත්මක මානයන් දැන් බහුලව පරිමාණයේ උපාංග කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ශක්ය ක්රමයක් නොවේ. ඒ වෙනුවට අර්ධ සන්නායක පර්යේෂකයන් නව ද්රව්ය හා ත්රිමාණ චිප ගෘහ නිර්මාණ ස්වරූපයෙන් විසඳුම් සොයයි.

වෙහෙස නොබලා දශක ගණනාව යනු අද දින අර්ධ සන්නායක උපාංග පරණ මයික්රොචිප්ස් වලට වඩා බලවත් ය - නමුත් ඒවා ද ගුප්ත ය. මි.මී. නිෂ්පාදන ක්රියාවලියක සුළු වශයෙන් අපිරිසිදු වීම (විශේෂයෙන් දුර්ලභ හෝ නිෂ්ක්රීය වායූන්) විනාශකාරී උපකරණ අසාර්ථක වීමට හේතු වේ - එබැවින් සදහටම ගෑස් සංශුද්ධතාවය දැන් වැදගත් ය.

සාමාන්ය අර්ධ සන්නායක පිරිසක් සඳහා, අතිශය ඉහළ සංශුද්ධපැනීමේ වායුව දැනටමත් සිලිකන් වලින් පසුව විශාලතම ද්රව්යමය වියදමයි. අර්ධ සන්නායක සඳහා වන ඉල්ලුම නව උසකට එළඹීම නිසා මෙම පිරිවැය වැඩි වනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ. යුරෝපයේ සිදුවීම් ආතති අධි පීඩන ස්වාභාවික වායු වෙළඳපොළට අමතර බාධාවක් ඇති කර තිබේ. යුක්රේනය ලෝකයේ විශාලතම ඉහළ පාරිශුද්ධ භාවය අපනයනය කරන අයගෙන් එකකිනියොන්සං signs ා; රුසියාවේ ආක්රමණය යනු දුර්ලභ වායුවේ සැපයුම් සීමා කර ඇති බවයි. මෙය සගයන්ට අඩුපාඩු සහ වෙනත් උදාර වායූන්ගේ ඉහළ මිලකට ගෙන ගියේයක්රිප්ටෝන්සහxenon.