අති-ඉහළ සංශුද්ධතාවය (UHP) වායු අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ ජීවනාලිය වේ. ගෝලීය සැපයුම් දාමයට පෙර නොවූ විරූ ඉල්ලුමක් සහ බාධා කිරීම් අතිශය අධි පීඩන වායුවේ මිල ඉහළ නංවන බැවින්, නව අර්ධ සන්නායක සැලසුම් සහ නිෂ්පාදන පිළිවෙත් අවශ්‍ය පරිසර දූෂණ පාලනයේ මට්ටම වැඩි කරයි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා, UHP වායුවේ සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීමට හැකිවීම වෙන කවරදාටත් වඩා වැදගත් වේ.

අති උසස් සංශුද්ධතාවය (UHP) වායු නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී අතිශයින් තීරණාත්මක වේ

UHP වායුවේ ප්‍රධාන යෙදුමක් වන්නේ නිෂ්ක්‍රීයකරණයයි: UHP වායුව අර්ධ සන්නායක සංරචක වටා ආරක්ෂිත වායුගෝලයක් සැපයීමට භාවිතා කරයි, එමඟින් වායුගෝලයේ තෙතමනය, ඔක්සිජන් සහ අනෙකුත් දූෂකවල හානිකර බලපෑම් වලින් ඒවා ආරක්ෂා කරයි. කෙසේ වෙතත්, නිෂ්ක්‍රීයකරණය යනු අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වායූන් ඉටු කරන විවිධ කාර්යයන්ගෙන් එකක් පමණි. ප්‍රාථමික ප්ලාස්මා වායූන්ගේ සිට කැටයම් කිරීම සහ ඇනීල කිරීම සඳහා භාවිතා කරන ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායු දක්වා, අති-අධි පීඩන වායු විවිධ අරමුණු සඳහා භාවිතා වන අතර අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමය පුරා අත්‍යවශ්‍ය වේ.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ සමහර "core" වායූන් ඇතුළත් වේනයිට්රජන්(සාමාන්‍ය පිරිසිදු කිරීම සහ නිෂ්ක්‍රීය වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි)ආගන්(කැටීම් සහ තැන්පත් කිරීමේ ප්‍රතික්‍රියා වලදී ප්‍රාථමික ප්ලාස්මා වායුව ලෙස භාවිතා කරයි)හීලියම්(විශේෂ තාප හුවමාරු ගුණ සහිත නිෂ්ක්රිය වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි) සහහයිඩ්රජන්(ඇනීල් කිරීම, තැන්පත් කිරීම, එපිටැක්සි සහ ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම සඳහා බහු භූමිකාවන් ඉටු කරයි).

අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණය පරිණාමය වී වෙනස් වී ඇති බැවින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා වන වායූන් ද වෙනස් වී ඇත. අද, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හල් වැනි උච්ච වායු වලින් පුළුල් පරාසයක වායු භාවිතා කරයි.kryptonසහනියොන්නයිට්‍රජන් ට්‍රයිෆ්ලෝරයිඩ් (NF 3) සහ ටංස්ටන් හෙක්සැෆ්ලෝරයිඩ් (WF 6) වැනි ප්‍රතික්‍රියාශීලී විශේෂවලට.

පිරිසිදුකම සඳහා වැඩිවන ඉල්ලුම

පළමු වාණිජ මයික්‍රොචිපය සොයාගැනීමෙන් පසු, අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ක්‍රියාකාරීත්වයේ විස්මිත ආසන්න ඝාතීය වැඩිවීමක් ලෝකය දැක තිබේ. පසුගිය වසර පහ තුළ, මේ ආකාරයේ කාර්ය සාධනය වැඩිදියුණු කිරීම සඳහා ඇති ස්ථිරම ක්‍රමයක් වූයේ “ප්‍රමාණයේ පරිමාණය”: දී ඇති අවකාශයකට වැඩි ට්‍රාන්සිස්ටර මිරිකීම සඳහා පවතින චිප ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පයේ ප්‍රධාන මානයන් අඩු කිරීමයි. මීට අමතරව, නව චිප් ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය සංවර්ධනය කිරීම සහ අති නවීන ද්‍රව්‍ය භාවිතය උපාංග ක්‍රියාකාරීත්වයේ පිම්මක් ඇති කර ඇත.

අද, අති නවීන අර්ධ සන්නායකවල තීරණාත්මක මානයන් දැන් ඉතා කුඩා වන අතර ප්‍රමාණයේ පරිමාණය උපාංග ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට තවදුරටත් ශක්‍ය මාර්ගයක් නොවේ. ඒ වෙනුවට, අර්ධ සන්නායක පර්යේෂකයන් නව ද්‍රව්‍ය සහ ත්‍රිමාණ චිප ගෘහ නිර්මාණ ආකාරයෙන් විසඳුම් සොයමින් සිටිති.

දශක ගණනාවක් වෙහෙස නොබලා නැවත සැලසුම් කිරීම යනු වර්තමාන අර්ධ සන්නායක උපාංග පැරණි මයික්‍රොචිප් වලට වඩා බලවත් ය - නමුත් ඒවා වඩාත් බිඳෙන සුළු ය. 300mm වේෆර් නිෂ්පාදන තාක්ෂණයේ පැමිණීම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අවශ්‍ය අපිරිසිදු පාලන මට්ටම ඉහළ නංවා ඇත. නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියක (විශේෂයෙන් දුර්ලභ හෝ නිෂ්ක්‍රීය වායූන්) සුළු දූෂණයක් පවා ව්‍යසනකාරී උපකරණ අසාර්ථක වීමට හේතු විය හැක - එබැවින් වායු සංශුද්ධතාවය වෙන කවරදාටත් වඩා වැදගත් ය.

සාමාන්‍ය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කම්හලක් සඳහා, අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායුව දැනටමත් සිලිකන්ට පසුව විශාලතම ද්‍රව්‍යමය වියදම වේ. අර්ධ සන්නායක සඳහා ඉල්ලුම නව උසකට නැඟීම නිසා මෙම පිරිවැය වැඩි වනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ. යුරෝපයේ සිදුවීම් ආතති සහගත අධි-අධි පීඩන ස්වාභාවික වායු වෙළඳපොළට අමතර බාධාවක් ඇති කර තිබේ. යුක්රේනය යනු ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ලොව විශාලතම අපනයනකරුවන්ගෙන් එකකිනියොන්සංඥා; රුසියාවේ ආක්‍රමණය යනු දුර්ලභ වායු සැපයුම සීමා වී ඇති බවයි. මෙය අනෙක් උච්ච වායු වැනි අනෙකුත් උච්ච වායුවල හිඟය සහ ඉහළ මිල ගණන් වලට හේතු වියkryptonසහසෙනෝන්.